DescriptionAVI pour substrats IC avec un pas ligne/espacement minimum jusqu'à 8 µm.
Le Capricorn 8Cχ, système AVI de dernière génération de CIMS, équipé d'une caméra couleur, est conçu pour l'inspection finale des substrats IC avancés. Il est capable d'analyser des technologies avec un pas ligne/espacement de 8 µm et utilise une taille de pixel optique de 2,2 μm.
Les systèmes AVI Capricorn disposent d'une architecture à double platine et double caméra et s'appuient sur du matériel et des logiciels avancés pour offrir une inspection à haute capacité avec des capacités de détection renforcées sur le métal et le masque de soudure.
Les systèmes Capricorn sont pleinement compatibles avec les exigences de l'Industrie 4.0, incluant la lecture et la gestion des codes-barres, la connectivité aux bases de données internes et externes, la compatibilité complète avec le système de vérification virtuelle CIMS pour l'inspection AVI (VVS™/AVI) ainsi que le support des protocoles de données externes pour l'intégration en usine intelligente.
Le Capricorn 8Cχ est propulsé par Spark™ 3.0 — un moteur de détection multiplateforme innovant.
Points forts- Détection supérieure sur le métal et le masque de soudure
- Détection des défauts sous masque de soudure
- Inspection avec plusieurs résolutions
- 4 magazines entièrement automatisés
- Firmware de traitement d'image haute performance
- Processeurs puissants pour la gestion de gros volumes de données
- Configuration simple et intuitive
Options- Nettoyeur de bande automatisé intégré
- Lecture de codes-barres
- Dispositif ioniseur antistatique
- CDB™/CDBIC™ – classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts
- X-WAVE™ ‒ éclairage multi-longueurs d'onde
- VVS™ ‒ système de vérification virtuelle
- Connectivité SECS/GEM™
Caractéristiques / spécifications techniques- Pas ligne/espacement minimum : 8 µm
- Taille de pixel optique : 2,2 μm
- Caméra couleur
- Architecture double platine et double caméra
- Propulsé par le moteur de détection Spark™ 3.0
- Détection supérieure sur métal et masque de soudure ; détection des défauts sous masque de soudure
- Inspection à plusieurs résolutions
- 4 magazines entièrement automatisés
- Firmware de traitement d'image haute performance et processeurs puissants
- Compatibilité Industrie 4.0 : gestion des codes-barres, connectivité bases de données interne/externe
- Compatibilité avec le système de vérification virtuelle VVS™/AVI
- Support des protocoles de données d'usine externes incluant SECS/GEM™