PrésentationGalaxy 7Cχ est un système d'inspection optique automatisée (AOI) pour substrats IC, conçu pour la production en grande série avec une détection minimale ligne/espacement jusqu'à 7 µm. Le système utilise une caméra couleur et une optique avancée pour l'acquisition d'images haute résolution à vitesse de balayage industrielle.
Points clés- Technologie optique Prisma™ Gen II offrant une couverture d'éclairage flexible et un contraste élevé
- Moteur de détection Spark™ 3.0 multiplateforme pour des algorithmes de détection personnalisables
- Acquisition d'image couleur optimisée pour la capture haute résolution à vitesse
- Moteurs linéaires garantissant un mouvement fluide et silencieux
- Plateforme mécanique compacte adaptée à l'intégration en usine
- Matériel de 6e génération avec bloc d'éclairage amélioré
- Configuration rapide et intuitive pour réduire les temps de changement de série
Options- Fi™ – option d'inspection finale pour cartes finies
- +2DM™ métrologie – mesure des dimensions du panneau
- +2CD™ métrologie – mesure 2D des éléments de circuit
- +3DH™ métrologie – mesure 3D de la hauteur des éléments de circuit
- +3DP™ métrologie – profilage 3D des éléments de circuit
- LDI™ – option d'inspection des perçages laser
- CDB™/CDBIC™ – classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts
- VVS™ – système de vérification virtuelle
- X-WAVE™ – illumination multi-longueurs d'onde
Caractéristiques techniques- Détection minimale ligne/espacement : jusqu'à 7 µm
- Technologie optique : Prisma™ Gen II pour une illumination flexible et un contraste maximal
- Acquisition d'images : caméra couleur avec capture haute résolution à vitesse de balayage élevée
- Moteur de détection : Spark™ 3.0 multiplateforme
- Mouvement mécanique : moteurs linéaires pour un déplacement fluide et silencieux
- Plateforme : plateforme mécanique compacte pour intégration en usine
- Génération matérielle : matériel de 6e génération
- Illumination : bloc d'illumination amélioré (option multi-wave X-WAVE™ disponible)
- Logiciel : algorithmes de détection personnalisables pour optimiser la détection et minimiser les faux positifs
- Compatibilité automatisation : compatible avec AMHS frontal ou robot
- Options de métrologie et inspection disponibles : Fi™, +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™