Machine d'inspection optique AIVR 5μ

vidéopour semi-conducteurpour wafer gravé

Description
AIVR est une station de vérification CIMS assistée par IA qui combine vérification virtuelle et physique au sein d'une même station de travail. La CIMS AIVR 5μ est conçue pour soutenir la production en grande série de substrats de circuits intégrés et est optimisée pour la vérification des technologies ligne/espacement 5–25 µm. En mode AIVR, l'opérateur examine les images de défauts capturées par l'AOI et traitées par des algorithmes d'amélioration d'image basés sur l'IA, ce qui permet d'éliminer rapidement les faux défauts évidents. L'utilisation d'AIVR améliore l'efficacité et la rapidité de vérification tout en intégrant les résultats à la base de données de production. Un écran tactile optionnel permet la classification rapide des défauts et un retour QA en temps réel. AIVR 5μ est compatible avec tous les AOI CIMS.

Points forts

• Combine la vérification d'images post-traitées AOI avec un mode vidéo en direct
• Jusqu'à 90 % d'augmentation de l'efficacité de vérification par rapport au mode traditionnel
• Affichage d'images couleur haute résolution de défauts améliorées par IA, capturées directement depuis l'AOI
• Zoom variable et calibration automatisée
• Table à vide fixe
• Conception ergonomique
• Image claire des défauts avec éclairage vidéo réglable

Options

• Auto-marker pour le marquage des défauts
• Lecteur de codes-barres
• Bras support d'écran réglable
• CDB™/CDBIC™ – classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts
• SharpLight™ – amélioration de l'image vidéo

Caractéristiques techniques

• Modèle : AIVR 5μ
• Application : station de vérification AOI assistée par IA pour substrats de circuits intégrés
• Technologie ligne/espacement prise en charge : 5–25 µm
• Modes de vérification : vérification virtuelle et physique au sein d'une même station ; images post-traitées AOI et vidéo en direct
• Fonctionnalités : amélioration d'image basée sur l'IA, zoom variable, calibration automatisée, table à vide fixe, conception ergonomique, éclairage vidéo réglable
• Compatibilité : Compatible avec tous les AOI CIMS
• Écran tactile optionnel pour classification des défauts et retour QA en temps réel
• Options : Auto-marker, Lecteur de codes-barres, Bras support d'écran réglable, CDB™/CDBIC™, SharpLight™