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Système d'inspection optique Galaxy 4Cχ
à caméraautomatiquede mesure

Système d'inspection optique - Galaxy 4Cχ - CIMS - à caméra / automatique / de mesure
Système d'inspection optique - Galaxy 4Cχ - CIMS - à caméra / automatique / de mesure
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Caractéristiques

Technologie
à caméra, optique
Mode de fonctionnement
automatique
Type
pour détection de défauts, de mesure
Applications
pour la production, pour l'industrie de l'électronique
Applications produits
pour wafers
Configuration
en ligne
Autres caractéristiques
haute résolution, sans contact

Description

Description
  • Inspection optique automatisée (AOI) pour substrats IC avec résolution minimum ligne/espace jusqu'à 4 µm.
  • Galaxy 4Cχ est la génération la plus récente des systèmes AOI de CIMS, équipé d'une caméra couleur et de l'optique Prisma™ Gen II pour une acquisition d'images à fort contraste à vitesse de production.
  • Conçu pour soutenir la production en grande série des substrats IC de nouvelle génération en combinant imagerie haute résolution et algorithmes de détection configurables pilotés par Spark™ 3.0.
  • Options modulaires et packs de métrologie permettant des flux d'inspection et de mesure en ligne pour panneaux et éléments de circuit.


Points forts
  • Moteurs linéaires pour un mouvement fluide et silencieux
  • Plateforme mécanique compacte pour intégration en usine
  • Architecture matérielle de 6e génération
  • Bloc d'éclairage amélioré avec option multi-longueurs d'onde X-WAVE™
  • Mise en route rapide et gestion intuitive des recettes
  • Compatible avec automatisation frontale AMHS ou manipulation par robot


Options
  • Fi™ — option d'inspection finale pour cartes finies
  • +2DM™ métrologie — mesure des dimensions du panneau
  • +2CD™ métrologie — mesure 2D des éléments de circuit
  • +3DH™ métrologie — mesure 3D de la hauteur des éléments
  • +3DP™ métrologie — profilage 3D des éléments de circuit
  • LDI™ — option d'inspection des perçages laser
  • CDB™/CDBIC™ — classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts
  • VVS™ — système de vérification virtuelle
  • X-WAVE™ — éclairage multi-longueurs d'onde


Caractéristiques techniques
  • Application : Inspection optique automatisée (AOI) pour substrats IC
  • Résolution minimale ligne/espace : 4 µm
  • Caméra : Caméra couleur
  • Technologie optique : Prisma™ Gen II
  • Moteur de détection : Spark™ 3.0 (cross-platform)
  • Système de mouvement : Moteurs linéaires pour mouvement fluide et silencieux
  • Mécanique : Plateforme compacte adaptée aux implants d'usine
  • Génération matérielle : Matériel de 6e génération
  • Éclairage : Bloc d'éclairage amélioré (X-WAVE™ en option)
  • Compatibilité automatisation : AMHS frontal ou robot
  • Options de métrologie : +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
  • Autres options : Fi™ inspection finale, LDI™ inspection perçage laser, CDB™/CDBIC™ classification des défauts, VVS™ vérification virtuelle

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.