Système d'inspection optique Galaxy 5Cχ

à caméraautomatiquepour détection de défauts

Description
Inspection optique automatisée (AOI) pour substrats de circuits intégrés, le Galaxy 5Cχ prend en charge une technologie ligne/espace minimale jusqu'à 5 µm. Conçu pour la production à haut volume, il associe imagerie couleur haute résolution et optique avancée ainsi que des moteurs de détection pour identifier les défauts de procédé et d'assemblage sur des substrats évolués.

Principales capacités

• Inspection jusqu'à 5 µm ligne/espace pour les technologies avancées de substrats IC
• Caméra couleur haute résolution pour une reconnaissance améliorée des caractéristiques
• Technologie optique Prisma™ Gen II pour une illumination flexible et contraste maximal
• Moteur de détection Spark™ 3.0 multiplateforme avec algorithmes personnalisables
• Équilibre optimisé entre résolution et vitesse de balayage pour un débit élevé

Points forts

• Moteurs linéaires pour un mouvement fluide et silencieux
• Plateforme mécanique compacte pour une intégration en atelier
• Matériels de 6e génération pour des performances et une fiabilité accrues
• Bloc d'éclairage amélioré avec option d'illumination multi‑ondes X-WAVE™
• Mise en place rapide et intuitive des nouveaux programmes pour réduire les temps de changement
• Compatible avec l'automatisation AMHS frontale ou la manipulation robotisée

Options

• Fi™ — option d'inspection finale pour cartes finies
• +2DM™ métrologie — mesure des dimensions de panneau
• +2CD™ métrologie — mesure 2D des éléments de circuit
• +3DH™ métrologie — mesure 3D de la hauteur des éléments de circuit
• +3DP™ métrologie — profilage 3D des éléments de circuit
• LDI™ — option d'inspection de perçage laser
• CDB™ / CDBIC™ — classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts
• VVS™ — système de vérification virtuelle
• X-WAVE™ — option d'illumination multi‑ondes

Caractéristiques / spécifications techniques

• Application : Inspection optique automatisée (AOI) pour substrats de circuits intégrés
• Capacité minimale ligne/espace : 5 µm
• Caméra : caméra couleur haute résolution
• Technologie optique : Prisma™ Gen II (illumination flexible, contraste élevé)
• Moteur de détection : Spark™ 3.0 (multiplateforme, algorithmes personnalisables)
• Système de mouvement : moteurs linéaires pour un mouvement fluide et silencieux
• Conception mécanique : plateforme compacte adaptée à l'intégration
• Génération hardware : matériel de 6e génération
• Éclairage : bloc d'éclairage amélioré ; X-WAVE™ en option
• Options métrologie : +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
• Options supplémentaires : Fi™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™
• Compatibilité automatisation : compatible avec AMHS frontal ou manipulation robotisée