Description du produitPhoenix PT/Micro, système AOI de CIMS, est conçu pour l'inspection d'outils photo à lignes ultra-fines tels que les films d'art et les masques en verre. Il permet la détection jusqu'à 7 µm en largeur ligne/espace. Grâce à un éclairage transmissif optimisé pour l'inspection des masques, le système détecte de manière fiable les défauts susceptibles d'être transférés sur des panneaux fabriqués avec des masques défectueux. Les performances résultent de la combinaison d'une acquisition d'image de haute qualité, d'algorithmes de détection personnalisables et d'un firmware de traitement avancé. Phoenix PT/Micro est propulsé par Spark™ — un moteur de détection multiplateforme assurant un haut taux de détection avec un minimum de faux positifs.
Points forts- Table en verre translucide ou mate
- Compatible avec une large gamme de cadres
- Adapté aux masques en verre et aux films d'art
- Structure mécanique robuste
- Conception ergonomique pour l'opérateur
- Firmware de traitement d'images haute performance
- Processeurs puissants pour gérer de gros volumes de données
- Configuration rapide et intuitive des nouveaux travaux
Options- Différentes tailles de cadres pour masques en verre
- Adaptateur universel de cadre
- Suiveur de hauteur intégré
- +2CD™ métrologie — mesure 2D des éléments de circuit
- CDB™/CDBIC™ — classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts
Caractéristiques techniques- Modèle : Phoenix PT/Micro
- Application : AOI pour outils photo ultra-fins (films d'art et masques en verre)
- Détectabilité minimale ligne/espace : jusqu'à 7 µm
- Éclairage : chemin lumineux transmissif optimisé pour l'inspection des masques
- Moteur de détection : Spark™ moteur de détection multiplateforme
- Acquisition d'image : acquisition d'images de haute qualité
- Logiciel : algorithmes de détection personnalisables, firmware de traitement avancé
- Mécanique : structure robuste, conception ergonomique, compatible avec plusieurs tailles de cadres
- Métrologie et classification optionnelles : +2CD™ métrologie, CDB™/CDBIC™