Système d'inspection optique Phoenix PT+

à caméraautomatiséde surface de verre

Description
Phoenix PT+, système CIMS AOI, est conçu pour inspecter des phototools haute résolution tels que les photomasks sur film et les masques en verre. Il peut scanner jusqu'à une largeur ligne/espacement de 12,5 µm. Étant donné que les masques sont utilisés en lumière transmissive, Phoenix PT+ utilise le même trajet optique pour l'inspection afin de détecter de manière fiable les défauts susceptibles d'être transférés aux panneaux produits avec des masques défectueux. Le système associe une qualité d'image élevée à des algorithmes de détection personnalisables. Équipée d'un matériel d'acquisition d'image de pointe et de logiciels avancés, la famille Phoenix offre une détection performante avec un faible taux de fausses alertes. Phoenix PT+ est propulsé par Spark™ — un moteur de détection multiplateforme.

Points forts

• Table en verre claire ou satinée
• Compatible avec un large éventail de cadres
• Convient aux masques en verre et aux phototools sur film
• Structure mécanique robuste
• Conception très ergonomique
• Firmware de traitement d'image haute performance
• Processeurs puissants pour gérer de grands volumes de données
• Configuration rapide et intuitive pour les nouveaux travaux

Options

• Plusieurs tailles de cadres pour masques en verre
• Adaptateur de cadre universel
• Suiveur de hauteur intégré
• +2CD™ métrologie – mesure 2D des éléments de circuit
• CDB™/CDBIC™ – classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts

Caractéristiques / spécifications techniques

• Largeur ligne/espacement détectable minimale : 12,5 µm
• Cible d'inspection : phototools haute résolution incluant les photomasques sur film et les masques en verre
• Éclairage / trajet optique : inspection en lumière transmissive (même trajet optique que celui utilisé pour l'emploi des masques)
• Table : table en verre claire ou satinée
• Compatibilité des cadres : compatible avec un large éventail de cadres ; plusieurs tailles de cadres pour masques en verre disponibles en option
• Mécanique : structure mécanique robuste avec conception très ergonomique
• Acquisition d'image : matériel d'acquisition d'image de pointe
• Traitement : firmware de traitement d'image haute performance et processeurs puissants pour gérer de grands volumes de données
• Logiciel / moteur de détection : propulsé par le moteur de détection multiplateforme Spark™ avec algorithmes de détection personnalisables
• Configuration : configuration rapide et intuitive pour les nouveaux travaux
• Métrologie et classification en option : +2CD™ métrologie 2D, CDB™/CDBIC™ classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts
• Matériel optionnel : adaptateur de cadre universel, suiveur de hauteur intégré