Description Capricorn 5Cχ est un système AVI pour substrats IC avec une capacité ligne/espacement minimale de 5 µm. Équipé d'une caméra couleur et d'une taille de pixel optique de 1,6 µm, il est conçu pour l'inspection finale de substrats IC avancés. La configuration double platine et double caméra permet une inspection à haute capacité et une détection améliorée sur les métaux et les couches de masque à souder. Capricorn 5Cχ est compatible avec les exigences Industrie 4.0 et s'intègre aux bases de données et aux flux de vérification virtuelle.
Points clés - Détection supérieure sur métal et solder mask
- Détection de défauts sous le solder mask
- Inspection avec résolutions multiples
- 4 magazines entièrement automatisés
- Firmware de traitement d'image haute performance
- Processeurs puissants pour le traitement de gros volumes de données
- Configuration simple et intuitive
Options - Nettoyeur automatique de bandes intégré
- Lecture de codes-barres
- Appareil ioniseur antistatique
- CDB™/CDBIC™ – classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts
- X-WAVE™ ‒ illumination multi-longueurs d'onde
- VVS™ ‒ système de vérification virtuelle
- Connectivité SECS/GEM™
Caractéristiques / spécifications techniques - Application : Inspection visuelle automatisée (AVI) pour substrats IC
- Minimum détectable ligne/espacement : 5 µm
- Taille du pixel optique : 1,6 µm
- Caméra : caméra couleur
- Configuration mécanique : double platine et double caméra
- Moteur de détection : Spark™ 3.0 (cross-platform)
- Compatibilité : système de vérification virtuelle VVS™/AVI, protocoles SECS/GEM™
- Fonctions Industrie 4.0 : lecture/gestion de codes-barres, connectivité bases de données internes/externes
- Magazines : 4 magazines entièrement automatisés
- Capacité de détection : détection améliorée sur métal et solder mask, y compris défauts sous le solder mask
- Performance : firmware de traitement d'image haute performance et processeurs puissants pour gérer de gros volumes de données