DescriptionCapricorn 4Cχ, système AVI de dernière génération de CIMS, équipé d'une caméra couleur, est conçu pour l'inspection finale des substrats IC de nouvelle génération. Il permet l'analyse jusqu'à la technologie 4 µm ligne/espacement (taille de pixel optique 1 μm). Les systèmes Capricorn AVI présentent une configuration à double plateau et double caméra et reposent sur des matériels et logiciels avancés offrant une capacité d'inspection élevée ainsi qu'une détection grandement améliorée tant sur le métal que sur le masque de soudure. Les systèmes Capricorn AVI sont pleinement compatibles avec les exigences de l'Industrie 4.0, notamment le scan et la gestion des informations de codes-barres, la connectivité aux bases de données internes et externes, et la compatibilité avec le système de vérification virtuelle CIMS dédié à l'inspection AVI (VVS™/AVI). Le Capricorn 4Cχ est propulsé par Spark™ 3.0, un moteur de détection multiplateforme innovant.
Points forts- Détection supérieure sur métal et masque de soudure
- Détection de défauts sous le masque de soudure
- Inspection à résolutions multiples
- 4 magasins entièrement automatisés
- Firmware de traitement d'image haute performance
- Processeurs puissants pour le traitement de gros volumes de données
- Configuration simple et intuitive
Options- Nettoyeur automatisé de bandes intégré
- Lecture de codes-barres
- Dispositif ionisateur antistatique
- CDB™/CDBIC™ ‒ classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts
- X-WAVE™ ‒ illumination multi-longueurs d'onde
- VVS™ ‒ système de vérification virtuelle
- Connectivité SECS/GEM™
Caractéristiques / spécifications techniques- Application : inspection visuelle automatisée (AVI) pour substrats IC
- Capacité minimum ligne/espacement : 4 µm
- Taille de pixel optique : 1 μm
- Caméra : caméra couleur
- Configuration mécanique : double plateau et double caméra
- Moteur de détection : Spark™ 3.0 (moteur de détection multiplateforme)
- Points forts de détection : détection améliorée sur métal et masque de soudure ; capacité à détecter les défauts sous le masque de soudure
- Caractéristiques de débit : firmware de traitement d'image haute performance ; processeurs puissants pour la gestion de gros volumes de données ; 4 magasins entièrement automatisés
- Compatibilité Industrie 4.0 : scan et gestion des codes-barres, connectivité aux bases de données internes et externes, support des protocoles de données externes, intégration avec VVS™/AVI pour vérification virtuelle
- Modules optionnels disponibles : nettoyeur de bandes automatisé intégré, lecteur de codes-barres, ionisateur antistatique, classification CDB™/CDBIC™ et cartographie virtuelle, illumination multi-longueurs d'onde X-WAVE™, VVS™, connectivité SECS/GEM™