Système de thermorégulation Semistat S 4400

Présentation
Le Semistat S 4400 est une unité de régulation de température thermoélectrique Point-of-Use conçue pour des applications process nécessitant une régulation rapide et précise. Son faible encombrement et la possibilité d'installation sous plancher au point d'utilisation réduisent la surface occupée en salle blanche. Une régulation précise à ±0,1 K améliore l'homogénéité wafer-à-wafer et permet des économies d'énergie importantes par rapport aux systèmes à compresseur.

Caractéristiques

• Thermostat thermoélectrique de process à faible consommation d'énergie
• Fonctionnement silencieux et peu de vibrations grâce à la technologie de refroidissement sans fluide frigorigène
• Aucun filtre ni composant DI requis
• Connexion pour purge avec air propre et sec (CDA) afin d'éviter la condensation
• Utilisation de fluides caloporteurs perfluorés
• Version refroidie par eau
• Encombrement réduit et poids faible
• Volume très faible de liquide de transfert de chaleur
• Conforme aux normes SEMI S2 et F47

Espace de travail

• Température de fonctionnement min. : -20 °C
• Température de fonctionnement max. : 90 °C
• Stabilité de la température : ±0,1 K

Puissance frigorifique (exemples)
Température — Puissance frigorifique 50 Hz — Puissance frigorifique 60 Hz
20 °C — 4,4 kW — 4,4 kW
10 °C — 3,5 kW — 3,5 kW
0 °C — 2,6 kW — 2,6 kW
-10 °C — 1,65 kW — 1,65 kW
-20 °C — 0,7 kW — 0,7 kW

Caractéristiques techniques (selon DIN 12876)

• Plage de température de fonctionnement : -20 ... 90 °C
• Stabilité de la température : ±0,1 K
• Puissance de chauffe minimale : 12 kW
• Volume de remplissage min. : 2,5 L
• Volume de remplissage max. : 2,8 L
• Dimensions (L×P×H) : 194 x 300 x 560 mm
• Poids : 38 kg
• Alimentation : connexion PSC