Bain thermostatique compact Semistat S 2400

à température constantepour thermostatà refroidissement par eau

Résumé
Thermostat thermoélectrique Point-of-Use (POU) conçu pour le contrôle précis de la température des processus en semi-conducteurs et en laboratoire. Permet de réduire la consommation d'énergie jusqu'à 90 % par rapport aux systèmes à base de compresseur. L'encombrement réduit permet une installation sous plancher au point d'utilisation pour minimiser l'occupation de la salle blanche. Régulation rapide et précise des profils de température de process à ±0,1 K, améliorant l'homogénéité wafer-to-wafer.

Caractéristiques

• Thermostat thermoélectrique de process à faible consommation énergétique
• Refroidissement sans fluide frigorigène : fonctionnement silencieux et à faibles vibrations
• Aucun filtre ni composant DI requis
• Raccord pour purge avec air propre et sec (CDA) pour prévenir la condensation
• Utilisation de fluides caloporteurs perfluorés
• Disponible en version refroidie par eau
• Encombrement et poids réduits
• Volume de liquide de transfert de chaleur très faible
• Conforme aux standards SEMI S2 et F47

Espace de travail

• Température de fonctionnement minimale : -20 °C
• Température de fonctionnement maximale : 90 °C
• Stabilité de la température : 0.1 ± K

Capacité frigorifique
Température | Puissance frigorifique 50 Hz | Puissance frigorifique 60 Hz
20 °C | 2.45 kW | 2.45 kW
10 °C | 1.93 kW | 1.93 kW
0 °C | 1.40 kW | 1.40 kW
-10 °C | 0.88 kW | 0.88 kW
-20 °C | 0.35 kW | 0.35 kW

Informations complémentaires

• Référence : L003277
• Catégorie : Thermostats thermoélectriques de process / Thermostats de process

Spécifications techniques

• Plage de température : -20 ... 90 °C
• Stabilité de la température : 0.1 ± K
• Puissance de chauffe min. : 6 kW
• Volume de remplissage min. : 1.25 L
• Volume de remplissage max. : 1.6 L
• Dimensions (L×P×H) : 116 x 300 x 560 mm
• Poids : 27 kg (poids net 26.81 kg)
• Alimentation / connexion : Connection to PSC