Thermorégulateur sans affichage Semistat S 1200

thermoélectriquede process

Grâce à l'utilisation des systèmes de thermorégulation Point-of-Use (POU), il est possible de réduire la consommation énergétique de 90 % par rapport aux systèmes à base de compresseur. Un encombrement très faible et une installation possible sous plancher au Point-of-Use permettent de réduire la consommation de la salle blanche. La régulation de température rapide et précise des profils de température de process de ±0,1 °C permet d'améliorer l'homogénéité Wafer-to-Wafer. Caractéristiques Thermostat thermoélectrique de processus à faible consommation d'énergie Fonctionnement silencieux, sans vibrations grâce à la technologie de refroidissement sans fluide frigorigène Aucun filtre ou composant DI n'est nécessaire With a connection to purge with clean dry air (CDA) to prevent condensation Utilisation de fluides perfluorés Système de refroidissement à eau Encombrement et poids très faibles. Volume extrêmement faible de liquide caloporteur Conforme à SEMI S2 et F47 Caractéristiques techniques (selon DIN 12876) Constance de la température 0.1 ± K Puissance de chauffe min. 3 kW Volume de remplissage min. 1 L Volume de remplissage max. 1.3 L Dimensions (l x P x H) 116 x 232 x 470 mm Poids 15 kg Alimentation secteur Connection to PSC