Machine d'évaporation sous vide DXD-450

Le DXD-450 est un système de dépôt sous vide par évaporation thermique à chambre unique, conçu pour déposer des couches minces métalliques, semi‑conductrices, oxyde et organiques pour la recherche, le développement technologique et les essais de pré‑production.

Composition

• Chambre d'évaporation pour sources organiques / métalliques
• Système d'évacuation du vide
• Système de mesure du vide
• Sources d'évaporation
• Chauffage des échantillons et contrôle de la température
• Système de commande électronique
• Système de distribution

Indice technique

• Modèle : DXD-450
• Chambre principale : chambre carrée, dimensions 400 × 400 × 400 mm
• Configuration du système de vide : pompe mécanique, pompe moléculaire, vanne coulissante
• Pression ultime : ≤ 6×10⁻⁵ Pa
• Remise en vide : atteint 9×10⁻⁴ Pa en 40 minutes (après courte exposition à l'air et inflation de chlore sec puis démarrage de l'évacuation)
• Platine de chauffage du substrat :
  • Taille de l'échantillon : 120 × 120 mm, 1 pièce
  • Mode de mouvement : course verticale 0–50 mm ; rotation continue, vitesse 5–30 rpm
  • Température maximale du substrat : 800℃ ±1℃ ; distance entre substrat et source d'évaporation : 250–300 mm
• Source d'évaporation résistive pour organiques :
  • Capacité creuset : ≥ 2 cc
  • Plage de température : ambiante–500℃, réglable en continu
  • Alimentation : courant 300 A, puissance max 3 kW
  • Électrodes refroidies par eau : 4 pièces, configurable en 2 bateaux d'évaporation
• Contrôleur d'épaisseur par cristal de quartz : plage d'affichage 0–99μ9999 Å
• Système de circuit d'air : contrôleur de débit massique, 1 canal
• Dispositif de balayage laser : table mécanique de balayage bidimensionnel pour balayage libre dans deux directions
• Système de contrôle informatique : commande de la révolution et rotation de la cible, rotation de l'échantillon, contrôle de la température, balayage laser et fonctions associées
• Occupation au sol :
  • Châssis principal : 2450 × 1250 mm² (rack indépendant 770 × 600 mm²). Taille compatible avec la boîte à gants 1830 × 750 mm²
  • Armoire de commande électrique : 700 × 700 mm² (1 unité)

Caractéristiques / spécifications techniques

• Modèle : DXD-450
• Dimensions de la chambre : 400 × 400 × 400 mm
• Vide ultime : ≤ 6×10⁻⁵ Pa
• Température maximale du substrat : 800℃ ±1℃
• Plaque d'échantillon : 120 × 120 mm (1 pièce), rotation 5–30 rpm, course verticale 0–50 mm
• Distance d'évaporation : 250–300 mm
• Capacité du creuset d'évaporation : ≥ 2 cc ; plage de température RT–500℃ (réglable)
• Alimentation d'évaporation : 300 A, max 3 kW
• Contrôle d'épaisseur : contrôleur par cristal de quartz, plage jusqu'à 99μ9999 Å
• Empreinte au sol (châssis principal) : 2450 × 1250 mm² ; armoire électrique 700 × 700 mm²