Machine d'évaporation sous vide pour canon à électrons DXMC-500A

Le DXMC-500A est un système PVD par faisceau d'électrons destiné au dépôt évaporatif de métaux (y compris les métaux réfractaires) et de certains oxydes. Il intègre un faisceau électronique à déflexion 270°, un nettoyage par décharge lumineuse plasma et un contrôle de procédé centralisé pour la recherche et la production légère.

Paramètres techniques principaux

• Chambre à vide : acier inoxydable SUS304, dimensions Φ500 mm × H600 mm, porte avant avec fenêtre d'observation pour visualiser le canon électronique et la pièce.
• Canon électronique : un canon E-type 10 kW situé en bas de la chambre avec obturateur pneumatique ; angle de déflexion 270° ; creuset en cuivre refroidi par eau à six trous (transposable électriquement).
• Evaporation thermique : deux sources d'évaporation thermique en rotation (commutables) ; source d'évaporation par canon électronique SEBG-103C (10 kW, creuset 4 trous).
• Système de vide : pompe turbomoléculaire FF-200/1200 (refroidie par eau) + pompe mécanique 8 L/s ; vanne principale pneumatique GV200 en acier inoxydable ; conduites ondulées DN40 ; récupération à 5×10^-6 Torr ≤ 40 min ; vide ultime 5×10^-7 Torr.
• Contrôle du vide : unité pompe moléculaire + pompe mécanique avec vanne à clapet pneumatique haute précision et protections par interverrouillage ; alarmes eau, gaz et perte de phase incluses.
• Jauge de vide : jauge composite numérique ZDF-5227.
• Contrôle central : automates Siemens PLC avec écran tactile pour contrôle centralisé du vide, du baking, de la rotation, de l'évaporation, de l'éclairage et des alarmes.
• Mécanisme de fixation : plateau rotatif pour substrats 4-inch ou 6-inch ; vitesse de rotation 0–10 rpm ; uniformité de film ≤ ±3% dans la zone utile (spécification 6-inch).
• Contrôle d'épaisseur : interface pour jauge quartz ; contrôleur d'épaisseur (fabrication nationale) avec contrôle automatique du débit d'évaporation et du volet ; jauge équipée de 2 sondes.
• Baking : chauffage au-dessus du support, contrôlé par contrôleur de température numérique ; température max 350 ℃.
• Refroidissement pour le canon : débit ≥ 10 L/min ; pression d'entrée ≥ 0.15 MPa ; température d'entrée ≤ 25 ℃.
• Supplémentaire : tige de nettoyage plasma pour glow-discharge ; MFC D07-7 pour contrôle du débit de gaz (1 circuit).
• Poste et rack : poste 1300 × 1200 × 1600 mm ; rack d'installation (profil acier, panneaux thermolaqués) ; armoire de commande électrique 700 × 700 × 1760 mm.

Liste de configuration (tableau produit)

• Chambre à vide (Φ500 × H600 mm), porte avant, SUS304 — Set — Qté : 1 — Fabricant : DEXINMAG
• Fenêtre d'observation (installée sur la porte, Φ100 mm) — EA — Qté : 2 — Fabricant : DEXINMAG
• Volet de fenêtre d'observation (verre occultant réversible, manœuvre manuelle) — Set — Qté : 2 — Fabricant : DEXINMAG
• Plaque anti-encrassement (inox) — Set — Qté : 2 — Fabricant : DEXINMAG
• Volet à lamelles (empêche la poussière d'entrer dans la ligne d'extraction) — Set — Qté : 1 — Fabricant : DEXINMAG
• Pompe turbomoléculaire (FF-200/1200, refroidie par eau) — Set — Qté : 1 — Fabriqué en Chine
• Pompe mécanique (8 L/s) — Set — Qté : 1 — Fabriqué en Chine
• Vanne principale de vide (GV200, inox) — Set — Qté : 1 — Fabricant : DEXINMAG
• Canalisation (tuyau ondulé DN40) — Set — Qté : 2 — Fabricant : DEXINMAG
• Robinet d'angle (KF40) — EA — Qté : 2 — Fabricant : DEXINMAG
• Jauge composite numérique de vide (ZDF-5227) — Set — Qté : 1 — Fabriqué en Chine
• Contrôleur de flux massique gaz (D07-7) — Set — Qté : 1 — Fabriqué en Chine
• Table substrat (uniformité 6-inch ≤ ±3%) — Set — Qté : 1 — Fabricant : DEXINMAG
• Source d'évaporation thermique (commutable) — Groupe — Qté : 2 — Fabricant : DEXINMAG
• Source d'évaporation par canon électronique (SEBG-103C, 10 kW, creuset 4 trous) — Set — Qté : 1 — Fabriqué en Chine
• Tige de nettoyage glow (avec alimentation) — Set — Qté : 1 — Fabriqué en Chine
• Rack d'installation (profil acier, thermolaqué) — Set — Qté : 1 — Fabricant : DEXINMAG
• Jauge d'épaisseur (2 sondes) — Set — Qté : 1 — Fabriqué en Chine
• Alimentation principale de contrôle — Set — Qté : 1 — Fabricant : DEXINMAG

Pièces de rechange (consommables)

• Cristaux — pcs — Qté : 10 — Fournis par DEXINMAG
• Filament de canon électronique — pcs — Qté : 10 — Fournis par DEXINMAG
• Joint en caoutchouc 19×3.55 — pcs — Qté : 10 — Fournis par DEXINMAG
• Verre plombé fenêtre D117×10 — pcs — Qté : 2 — Fournis par DEXINMAG

Exigences pour le site d'installation

• Refroidissement : température d'entrée ≤ 20 ℃ ; pression d'entrée ≥ 0.3 MPa ; débit ≥ 2 m³/h.
• Alimentation électrique : 380 V / 3 phases 5 fils, 50 Hz ; déséquilibre de phase ≤ 2% ; puissance ≥ 30 kW. Monophasé 220 V ± 10%. Section conducteur neutre et terre ≥ 10 mm².
• Air comprimé : débit ≥ 0.8 m³/min ; pression ≥ 0.6 MPa.
• Bouteilles de gaz : nombre et spécifications selon le procédé de l'utilisateur ; fournir substrat, matériau cible et gaz de travail (ex. argon haute pureté).
• Empreinte au sol : env. 2 m × 3 m × 2.5 m (H).

Caractéristiques techniques

• Dimensions de la chambre : Φ500 mm × H600 mm.
• Vide ultime : 5×10^-7 Torr ; récupération à 5×10^-6 Torr ≤ 40 minutes.
• Canon électronique : 10 kW ; déflexion 270° ; creuset cuivre refroidi par eau à six trous.
• Sources d'évaporation : 2 sources commutables ; canon électronique SEBG-103C (10 kW, 4 trous).
• Pompage : turbomoléculaire FF-200/1200 (refroidi par eau) + pompe mécanique 8 L/s ; conduites DN40 ; vanne GV200 inox.
• Contrôle d'épaisseur : jauge quartz et contrôleur ; 2 sondes ; contrôle automatique du taux d'évaporation et des volets.
• Rotation : supporte substrats 4-inch ou 6-inch ; vitesse 0–10 rpm ; uniformité ≤ ±3% (zone utile 6-inch).
• Baking : jusqu'à 350 ℃, contrôleur numérique.
• Refroidissement (canon) : débit ≥ 10 L/min ; pression d'entrée ≥ 0.15 MPa ; temp. d'entrée ≤ 25 ℃.
• Contrôle : Siemens PLC avec écran tactile ; intégration vide, baking, rotation, évaporation, éclairage et alarmes.
• Taille du poste : 1300 × 1200 × 1600 mm ; armoire de commande : 700 × 700 × 1760 mm.