Alliage de molybdène

Présentation générale
Composants et pièces de rechange pour la voie de faisceau des implanteurs ioniques en production de semi‑conducteurs, conçus pour une tenue en température élevée, une pureté matériau et une stabilité de procédé. Pièces en métaux réfractaires, graphite technique et céramiques techniques, conformes aux géométries OEM ou optimisées selon la norme Plansee.

Vos bénéfices en bref

• Des décennies d’expérience dans la fabrication de composants pour semi‑conducteurs
• Production selon spécifications OEM ou optimisée Plansee Advanced Standard (PAS)
• Contrôle strict de la pureté des matériaux et des dimensions
• Réseau mondial de production et d’approvisionnement pour pièces critiques

Caractéristiques du produit

• Résistance aux hautes températures (jusqu’à ~1 400 °C selon matériau)
• Tenue aux champs électromagnétiques puissants et aux gaz de procédé
• Pureté élevée et contrôle d’épaisseur pour limiter la génération de particules
• Précision de fabrication au niveau micron pour géométries critiques

Produits (composants et pièces types)

• Chambres (graphite, tungstène, molybdène et alliages)
• Bobines / filaments (tungstène, alliages de tungstène)
• Vannes MRS / aubes et diaphragmes (graphite, tungstène, molybdène, alliages)
• Supports, brides et cathodes (tungstène, molybdène, alliages)
• Terminaux et pièces d’analyseur (graphite)
• Isolants et éléments céramiques
• Pièces de rechange diverses (graphite, métaux réfractaires, alliages, céramiques, acier)

Fabrication & optimisation

• Production aux cotes OEM ou en versions PAS optimisées (géométries et zones d’usure améliorées)
• Sites de production mondiaux (ex. Japon, États‑Unis, Corée, Chine, Inde) pour respecter délais et qualité
• Usinage de précision et contrôles qualité rigoureux à chaque étape

Avantages du Plansee Advanced Standard (PAS)

• Facilité de montage/démontage et manutention
• Durée de vie prolongée des composants et réduction des arrêts
• Moins d’opérations de nettoyage et d’entretien
• Optimisations géométriques/matériaux prolongeant sensiblement la durée de vie de pièces critiques (ex. certaines vannes MRS PAS)

Compatibilité — fabricants / familles d’implanteurs (exemples)

• Applied Materials (9000, 9200, 9500, séries Quantum, séries xR)
• Anciennes familles Varian (VIISta, VIISion, séries XP/HD)
• Axcelis (familles GSD / NV / Optima)
• Nissin (familles NH / PR / EXCEED)
• SEN, Ulvac et autres fabricants spécialisés

Matériaux & stabilité du procédé

• Matériaux : molybdène, tungstène, grades de graphite optimisés, céramiques techniques et alliages sélectionnés
• Grades de graphite spéciaux réduisant l’abrasion et la génération de particules
• Améliorations de conception (angles d’aubes optimisés) réduisant l’usure chimique/thermique

Caractéristiques techniques

• Température de service maximale : jusqu’à ≈1 400 °C (selon matériau)
• Matériaux : Mo, W, graphite, céramiques, alliages sélectionnés et acier
• Types courants : chambres, filaments, aubes/vannes MRS, supports, cathodes, terminaux, pièces d’analyseur, isolants, pièces de rechange
• Précision : tolérances de fabrication au niveau micron
• Normes de production : spécification OEM ou pièces optimisées PAS
• Systèmes pris en charge : solutions compatibles pour 100+ modèles/familles d’implanteurs