Cible de pulvérisation tantale

cathodique en molybdène

Résumé
Les cibles molybdène‑tantale (MoTa) associent l'adhérence du molybdène au verre et sa conductivité électrique élevée à la résistance chimique apportée par le tantale. Elles sont destinées aux couches d'électrodes et autres couches fonctionnelles déposées en PVD pour TFT‑LCD et écrans tactiles, lorsque la résistance à la corrosion et une bonne structuration par gravure humide sont requises.

Fabrication
Plansee fabrique les cibles MoTa par métallurgie des poudres : sélection de poudres métalliques de haute pureté, mélange contrôlé, pressage, frittage, mise en forme et usinage de précision. Les cibles sont finalisées en ateliers de bonding et livrées prêtes à l'installation. La teneur en tantale est ajustable selon l'application, jusqu'à environ 11 % en poids.

Performance et avantages

• Résistance chimique et à la corrosion améliorée pour les couches d'électrodes et fonctionnelles
• Excellente adhérence au verre et bonne conductivité électrique
• Microstructure et composition homogènes pour des dépôts PVD constants
• Bon comportement de structuration par gravure humide
• Fabrication optimisée pour limiter la formation de particules et l'effet d'arcing lors du PVD

Centre de compétences et développement
Les matériaux de revêtement et les paramètres de procédé sont développés et validés dans le laboratoire d'application PVD de Plansee en conditions proches de l'industrie. La collaboration avec clients et équipementiers permet une qualification rapide et un ajustement spécifique aux applications.

Matières premières et approvisionnement
Plansee maîtrise la chaîne complète de valeur, de la poudre de tantale certifiée et sans conflit aux cibles finies, assurant traçabilité et approvisionnement fiable. Les contrôles qualité minimisent les impuretés métalliques et non métalliques pour réduire la génération de particules.

Caractéristiques techniques / spécifications

• Pureté : ≥ 99,97 % (base métal)
• Densité de la cible : > 98 % (densité relative)
• Teneur en tantale : selon application, jusqu'à ~11 % en poids
• Fabrication : métallurgie des poudres (mélange, pressage, frittage, mise en forme, usinage, bonding)
• Usage prévu : couches d'électrodes pour TFT‑LCD, écrans tactiles et autres couches fonctionnelles PVD
• Propriétés clés : excellente adhérence au verre, conductivité élevée, résistance chimique améliorée, taux de dépôt homogènes, réduction de la formation de particules