Élément chauffant tubulaire

en molybdèneen tungstène

Présentation
Composants pour procédés d’épitaxie (MOCVD et MBE) utilisés dans la fabrication de puces LED, transistors, cellules solaires et autres dispositifs optoélectroniques. Les pièces sont réalisées en métaux réfractaires (molybdène, tungstène) et alliages spéciaux pour une utilisation en chambre de réacteur soumise à des températures extrêmes et au vide. Plansee fournit une large gamme de pièces de réacteur, notamment boucliers, collecteurs de gaz et éléments chauffants.

Vos bénéfices en bref :

• Simulation FEM pour l’optimisation thermique
• Conceptions sur mesure et fabrication adaptée
• Revêtement poreux breveté à base de tungstène
• Température de fonctionnement réduite grâce à une emissivité accrue
• Durée de service prolongée et fréquence de remplacement réduite
• Rendement supérieur par cycle de revêtement

Usage et performances
Les éléments chauffants des systèmes MOCVD peuvent atteindre environ 2000 °C. Plansee propose plus de 50 composants différents pour MOCVD et systèmes associés, disponibles en tant que pièces OEM ou pièces de rechange. Les améliorations de conception et l’optimisation par FEM visent une distribution de température homogène dans la chambre de réaction pour améliorer l’uniformité du dépôt et le rendement du procédé.

Revêtement et durée de service
Le revêtement poreux breveté de Plansee, à base de tungstène, augmente la surface effective et l’émissivité des éléments chauffants. Une émissivité plus élevée réduit la température de fonctionnement nécessaire pour un même flux thermique et prolonge la durée de vie des composants de plusieurs mois, diminuant ainsi le coût opérationnel total.

Tableau – Résistance selon atmosphères
Médium | Molybdène | Tungstène
Gaz ammoniac | jusqu'à 1000°C (1273 K) — aucune réaction ; au‑delà — possible nitruration de surface | jusqu'à 1000°C (1273 K) — aucune réaction ; au‑delà — possible nitruration de surface
Gaz nobles | jusqu'aux températures les plus élevées — aucune réaction | jusqu'aux températures les plus élevées — aucune réaction
Dioxyde de carbone | oxydation au‑delà de 1200°C (1473 K) | oxydation au‑delà de 1200°C (1473 K)
Monoxyde de carbone | oxydation au‑delà de 1400°C (1673 K) | oxydation au‑delà de 1400°C (1673 K)
Hydrocarbures | carburation au‑delà de 1100°C (1373 K) | carburation au‑delà de 1200°C (1473 K)
Air et oxygène | oxydation au‑delà de 400°C (673 K) ; sublimation au‑delà de 600°C (873 K) | oxydation au‑delà de 500°C (773 K) ; sublimation au‑delà de 850°C (1123 K)
Azote | jusqu'aux températures les plus élevées — aucune réaction (s’applique au molybdène pur) | jusqu'aux températures les plus élevées — aucune réaction (s’applique au tungstène pur)
Vapeur d’eau | oxydation au‑delà de 700°C (973 K) | oxydation au‑delà de 700°C (973 K)
Hydrogène | jusqu'aux températures les plus élevées — aucune réaction (respecter le point de rosée) | jusqu'aux températures les plus élevées — aucune réaction (respecter le point de rosée)

Remarques matériaux & procédé

• Pureté élevée : matériaux fournis avec une pureté > 99,97 % pour éviter la contamination des couches semi‑conductrices.
• Faible pression de vapeur : compatibles avec les applications en vide poussé / ultravide.
• Alliages spéciaux disponibles (TZM, WVM, ML, WL) pour meilleure résistance au fluage et stabilité dimensionnelle sous cycles thermiques.
• Le revêtement breveté augmente l’émissivité thermique, permettant une température de fonctionnement plus faible et une durée de vie accrue.

Caractéristiques / spécifications techniques

• Températures typiques des éléments chauffants MOCVD : jusqu’à ≈ 2000 °C (conception et matériaux adaptés aux hautes températures)
• Matériaux : molybdène, tungstène et alliages spécialisés (ex. TZM, WVM, ML, WL)
• Points de fusion : molybdène ≈ 2620 °C ; tungstène ≈ 3420 °C
• Pureté : > 99,97 %
• Faible pression de vapeur adaptée au haut / ultravide
• Revêtement poreux breveté à base de tungstène pour augmenter l’émissivité de surface
• Simulations FEM pour homogénéité thermique et optimisation des composants
• Plus de 50 composants MOCVD disponibles (boucliers, collecteurs de gaz, éléments chauffants)