Cible de pulvérisation cathodique en tungstène

tungstène

Présentation Les cibles de pulvérisation tungstène‑nickel (W–Ni) sont conçues pour la production des couches électrochromes des vitrages intelligents. Elles sont utilisées en pulvérisation réactive pour former des couches d’oxyde de tungstène et d’oxyde d’alliage de tungstène qui sont transparentes à l’état au repos et deviennent bleues sous tension continue. Le dopage de l’oxyde de tungstène par des éléments tels que Ni, Mo, Ti ou Ta permet d’ajuster la résistivité, le temps de commutation et les propriétés optiques des couches électrochromes.

Vos bénéfices en bref

• Pureté élevée : > 99,97 % (3N7)
• Microstructure et composition chimique homogènes
• Teneur en alliage (Ni) ajustable selon la spécification

Limites des cibles traditionnelles et conséquences
Les cibles obtenues par pulvérisation thermique ou coulée présentent souvent une répartition inégale du nickel et des densités matérielles généralement < 95 % de la densité théorique. Une distribution inhomogène du Ni peut créer des zones de nickel libre ferromagnétique entraînant des vitesses de pulvérisation inégales et des variations de composition des couches déposées. Une faible densité limite aussi l’épaisseur utilisable de la cible, augmentant la fréquence de remplacement en production.

Notre solution et avantages techniques
Nous fabriquons nos cibles W–Ni par métallurgie des poudres (processus complet en interne, de la poudre au produit fini) pour obtenir une microstructure homogène et une densité élevée (> 95 % de la densité théorique). Cela permet de produire des cibles utilisables jusqu’à 18 mm d’épaisseur, améliorant la durabilité et la durée de vie des cibles dans les process de dépôt et réduisant la fréquence de remplacement.

Microstructure et répartition du nickel
La micrographie optique montre le tungstène pur (gris foncé) incorporé dans une matrice tungstène‑nickel homogène. Il n’y a pas de nickel libre ni de phases ferromagnétiques détectées. La teneur en nickel est répartie très uniformément, avec des fluctuations limitées à ±0,5 % en poids autour de la valeur cible.

Tableau – Propriétés principales de nos cibles tungstène‑nickel
Densité (à 20 °C) : ≥ 95 % de la densité théorique
Pureté : > 99,97 % en poids (3N7)
Homogénéité de la distribution du Ni : < ±0,5 % en poids
Teneur en nickel : 25 à 55 % en poids (configurable)
Microstructure : grain fin et uniforme

Caractéristiques / spécifications techniques

• Composition : alliage tungstène‑nickel (W–Ni), teneur en Ni typique 25–55 % en poids
• Pureté du matériau : > 99,97 % (3N7)
• Densité (20 °C) : ≥ 95 % de la densité théorique
• Microstructure : grain fin et homogène ; absence de nickel libre/phasage ferromagnétique
• Homogénéité de la teneur en Ni : variation ≤ ±0,5 % en poids autour de la valeur cible
• Processus de fabrication : métallurgie des poudres, contrôle interne du poudrage au produit fini
• Épaisseur utilisable recommandée : jusqu’à 18 mm (matériau dense)
• Avantages en production : taux de pulvérisation stables, composition uniforme des couches déposées, durée de vie prolongée des cibles