Four à chambre

de croissance cristallineautomatique

Le four de croissance de cristaux de SiC permet, dans une atmosphère spécifique, aux matériaux à base de carbure de silicium de subir un transport en phase vapeur, des réactions chimiques, etc., afin de faire croître, au final, un lingot monocristallin de SiC de haute qualité à partir d'un germe. Taille 6 pouces/8 pouces Convexité pendant la croissance cristalline 1 à 3 mm Système de contrôle intelligent de haute précision, service sur mesure Contrôle multizone de haute précision Utilisation d’un système de contrôle intelligent pour permettre un contrôle centralisé à distance Rendement élevé, grande stabilité et utilisation optimale de l’espace Solutions sur mesure disponibles Le four de croissance cristalline pour matériaux à base de silicium est un équipement essentiel pour la croissance de lingots de silicium monocristallin (mono-Si) de haute pureté et de haute qualité. Il utilise généralement la méthode Czochralski pour faire croître des lingots de mono-Si. Il fait fondre les matériaux à base de silicium à l’aide d’un élément chauffant en graphite dans une atmosphère inerte, puis plonge le germe dans le silicium fondu. En contrôlant avec précision la vitesse de levage et de rotation du germe ainsi que celle du creuset, les atomes de silicium s’organisent de manière ordonnée, couche par couche, sur le germe, permettant ainsi la croissance de lingots de silicium monocristallin exempts de dislocations. Elle présente des avantages techniques tels qu’une conception à grand diamètre, un contrôle précis de la température et une commande automatique ; le diamètre des lingots obtenus varie de Φ360 à Φ600 mm, pour une longueur minimale de 2 m. Logiciel de simulation professionnel Utilisation de STR, un logiciel de simulation professionnel, pour simuler l’ensemble du cycle de croissance des lingots de SiC, offrant ainsi des solutions de croissance complètes aux clients. Commande intelligente Exploitation d’un système de commande intelligent pour permettre une commande centralisée à distance. Personnalisable Proposition de méthodes de chauffage personnalisées (chauffage par résistance / chauffage par induction) selon les besoins.