Machine de polissage silicium FTB150MP

pour wafersindustrielle

Le FTB150MP est un outil de CMP de 6 pouces conçu pour les applications de laboratoire en fonction des besoins des clients. Compatible avec divers matériaux, il est équipé d’unités de polissage hautement performantes permettant d’obtenir une planéité de surface des plaquettes extrêmement élevée. Grâce à son excellent rapport qualité-prix, il constitue une solution de laboratoire idéale pour les processus exigeant une grande précision. Taille des plaquettes ≤ 6 pouces Matériaux des plaquettes Si, SiC, GaN, etc. Un appareil raffiné et compact doté de toutes les fonctionnalités Dédié à la R&D de base et aux applications dans les domaines de petite taille Taille compacte Conception à tête unique et plaque unique hautement intégrée. Intégration flexible des processus La structure à haute rigidité permet d’appliquer une pression plus importante ; peut être équipée d’un conditionneur à tampon diamanté ou d’un conditionneur à tampon à brosse en nylon. Rapport qualité-prix Solutions de laboratoire économiques.