Microscope à force atomique

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Présentation du produit
Le microscope à force atomique (AFM wafer-level) est un instrument de sonde à balayage haute résolution conçu pour caractériser la morphologie tridimensionnelle des surfaces et les propriétés multifonctionnelles des conducteurs, semiconducteurs et isolants à l'échelle des plaquettes, avec approche de sonde automatisée et grande précision de positionnement.

Caractéristiques

• Essais multifonctions avancés : mesures du module d'Young, adhésion, imagerie des domaines magnétiques, potentiel de surface, fonction de travail et autres grandeurs physiques.
• Environnement adaptable : compatible avec des accessoires tels que boîtes de culture et plateaux chauffants ; prise en charge des mesures en phase air et liquide, et opération en milieux submergés et à haute température.
• Approche de sonde intelligente : insertion automatique de la sonde par un tube de balayage piézoélectrique via une touche unique.
• Taille d'échantillon adaptable : conçu pour la manipulation de plaquettes de 12 pouces et rétrocompatible avec des wafers de 8, 6, 4 pouces et des fragments.

Indicateurs techniques

• Niveau de bruit (XY) : 0,2 nm (boucle fermée), 0,02 nm (boucle ouverte).
• Niveau de bruit (Z) : 0,06 nm (boucle fermée), 0,03 nm (boucle ouverte).
• Non-linéarité : 0,15 % (XY), 1 % (Z).
• Mode de balayage : mode de balayage complet de la sonde XYZ (l'échantillon reste stationnaire lors du balayage).
• Plage de balayage : 90 μm × 90 μm × 9 μm.
• Vitesse de balayage : 0,1 Hz à 30 Hz.
• Points d'échantillonnage image : de 32 × 32 à 4000 × 4000.
• Compatibilité de taille d'échantillon : plaquette 12 pouces ; rétrocompatible avec 8, 6, 4 pouces et fragments.
• Modes de fonctionnement : contact, tapping, non-contact.
• Environnements adaptatifs : phases air et liquide.
• Modes de mesure multifonctions : EFM, KPFM, PFM, C-AFM, SCFM, MFM, LFM, nano-usinage / traitement, spectroscopie de force point unique, mode de modulation de force.
• Option : chargement/déchargement entièrement automatique.
• Système d'approche de sonde entièrement automatique : course 35 mm, précision de pas 50 nm.

Images représentatives / cas réels

• Morphologie d'échantillon de protéine globulaire (mode tapping).
• Potentiel d'électrode bande Au-Ti — scanné par KPFM (mode lift), exemple de balayage : 18 μm × 18 μm.
• Force électrostatique d'électrode Au-Ti — EFM (mode lift), exemple de balayage : 18 μm × 18 μm.
• Domaine magnétique d'un film mince Fe-Ni — MFM (mode lift), exemple de balayage : 14 μm × 14 μm.
• Carte d'amplitude verticale piézoélectrique de PbTiO3 — PFM (mode contact), exemple de balayage : 20 μm × 20 μm.
• Morphologie de sphères en polystyrène — mode tapping, exemple de balayage : 10 μm × 10 μm.
• Images de morphologie de fibres de SiC.

Caractéristiques / spécifications

• Type de sonde : sonde micro-cantilever pour caractérisation 3D des surfaces.
• Résolution d'imagerie : jusqu'à 20 picomètres (déclaration du système).
• Table de positionnement : table de positionnement motorisée avec imagerie optique ; précision de positionnement 1 µm sur une zone de 300 mm × 300 mm.
• Automatisation : approche de sonde automatisée et ajustement des paramètres de balayage ; option de chargement/déchargement automatique des plaquettes.
• Support environnemental et échantillons : prise en charge des boîtes de culture, plateaux chauffants, cellules liquides et dispositifs haute température pour des conditions expérimentales flexibles.
• Applications typiques : caractérisation des matériaux, imagerie des domaines magnétiques, cartographie du potentiel de surface, cartographie de la réponse piézoélectrique, morphologie nanoscopique d'échantillons biologiques et inorganiques.