AperçuLa traversée haute tension pour enceinte sous vide INNOVACERA est un dispositif de passage électrique conçu pour les environnements à haut vide. Elle transmet de manière hermétique des alimentations ou signaux haute tension depuis l'atmosphère vers l'intérieur d'une enceinte sous vide tout en préservant l'étanchéité et les performances d'isolation. L'isolant est en céramique d'alumine 95 % associé à des pièces métalliques (acier inoxydable 304, cuivre sans oxygène, alliage Kovar) pour garantir une stabilité en conditions de process exigeantes.
Applications- Systèmes laser excimère : solution d'alimentation haute tension pour la cavité de décharge
- Industrie des semi-conducteurs et optoélectronique : photolithographie, traitement de plaquettes, fabrication de composants optiques, écriture de réseaux de fibres
- Panneaux d'affichage : recuit LTPS, traitement des dalles flexibles
- Construction automobile : traitement de surface des cylindres moteur, systèmes de déclenchement d'airbags
- Nouvelles énergies & recherche : production de cellules photovoltaïques, modification de surfaces, expériences de laboratoire
Structure et matériaux du produit- Isolant : céramique d'alumine 95 % — haute rigidité diélectrique, résistance aux températures élevées, faible dégazage
- Conducteur/Broche : alliage Kovar ou cuivre sans oxygène (OFC) — compatibilité des dilatations thermiques et excellente conductivité
- Coque/Brides : acier inoxydable 304 ou alliage Kovar — résistant à la corrosion, soudable, compatible vide
Paramètres techniques- Matériau isolant : céramique Al₂O₃ 95 %
- Pièces métalliques : acier inoxydable 304 / alliage Kovar / cuivre sans oxygène
- Tenue en tension : 1 kV – 30 kV (tensions supérieures sur demande)
- Température de fonctionnement : -40°C à +300°C (personnalisable)
- Taux de fuite hélium : ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
- Résistance d'isolement : >10¹² Ω
- Options de bride/connecteur : CF, KF ou sur mesure
Caractéristiques clés- Transmission haute tension hermétique pour applications en haut vide
- Haute rigidité diélectrique et faible dégazage grâce à l'isolant en alumine 95 %
- Matériaux choisis pour la compatibilité des dilatations et l'étanchéité sous vide
- Possibilités de personnalisation : tension, type de bride et plage de température
- Fabrication et contrôle garantissant faible fuite hélium et haute résistance d'isolement
Personnalisation et commande- La tension, la configuration des broches, le type de bride (CF/KF/sur mesure) et la plage de température peuvent être adaptés aux besoins
- Conceptions pour tensions supérieures et matériaux spéciaux disponibles sur demande
- Documents fournis : rapport d'essai d'étanchéité, certificats matériaux et données d'essai électrique