Ce four, conçu pour les cellules de type N, intègre à la fois un four de cuisson et un four de passivation par exposition à la lumière, ce qui permet de réduire l'encombrement et de limiter la consommation d'énergie.
Compatible avec les
plaquettes de 182 à 230 mm
Conception compacte et économe en énergie
Conception intégrée du four de cuisson et du four de passivation pour économiser l'énergie.
Faible consommation d’énergie
Conception intégrée visant à réduire la consommation d’énergie
Contrôle précis de la température
L’excellente conception de la chambre du four, associée au système de contrôle de température développé en interne, permet un contrôle de la température en boucle fermée.
Meilleure efficacité
La zone à induction lumineuse utilise une lampe LED à longueur d’onde spécifique, ce qui permet d’améliorer l’efficacité en combinaison avec les réglages des paramètres de processus.
Compatibilité étendue
Prise en charge des cellules entières ou coupées en deux.
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