Machine de dépôt CVD

La machine LPCVD, dotée d'un procédé éprouvé et stable, est l'une des premières machines destinées à la production en série de cellules TOPcon. Rendement moyen élevé, bonne uniformité du film Notre système breveté d'admission d'air améliore l'uniformité et la contrôlabilité du champ d'écoulement Rendement élevé L'écoulement uniforme de l'air permet d'obtenir un film homogène et un rendement élevé. Longue durée de vie du tube en quartz : Durée de vie du tube en quartz de 6 mois grâce à une conception innovante de fixation du tube et à une faible consommation d’air. Zones de température stables : La disposition judicieuse des filaments chauffants contribue à une bonne cohérence et à une bonne contrôlabilité, ce qui se traduit par des zones de température stables et contrôlables.