Cette solution est conçue pour automatiser la manutention des plaquettes inspectées et couvre divers processus tels que le déchargement des plaquettes du système d’inspection, leur transport, l’inspection des piles de plaquettes, la mise en sachets, le tri, la mise en cartons et l’empilage sur des palettes.
A été le premier à mettre en œuvre l’automatisation complète de cette étape de production et à la commercialiser
Elle garantit une traçabilité physique et informatique complète de toutes les plaquettes grâce à des informations couvrant l’ensemble du processus
La ligne « Wafer Automation Pack » est un système d’automatisation hautement intégré, dont les processus clés comprennent : Chargement et transport : réception des bacs contenant les plaquettes triées en provenance des zones de sortie de plusieurs systèmes d’inspection de plaquettes, puis transport des piles de plaquettes après leur regroupement. Inspection visuelle : utilise généralement un système de vision pour capturer les quatre côtés latéraux et les chanfreins de la pile de gaufrettes, en se concentrant sur la détection de défauts tels que les taches, les résidus d’adhésif et les éclats sur les côtés latéraux qui auraient pu échapper au processus d’inspection du système d’inspection des gaufrettes. Mise en sachet et conditionnement : place automatiquement du papier sulfurisé sur le dessus et le dessous de chaque pile de plaquettes, puis charge la pile de plaquettes dans un sachet d’emballage. Ensuite, charge les piles de plaquettes dans une boîte d’emballage en fonction des résultats d’inspection. La palettisation peut être intégrée en fin de ligne.Scénarios d’application : Principalement utilisé dans le processus d’emballage en fin de ligne des ateliers de fabrication de plaquettes, ce système s’interface avec les systèmes d’inspection de plaquettes en amont pour former une boucle automatisée complète, de l’inspection à l’emballage.
Avantages techniques : La fonctionnalité stable d’inspection des piles de plaquettes jette les bases solides d’opérations entièrement automatisées et intelligentes, évitant ainsi toute réinspection manuelle ultérieure.
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