Guide linéaire à coussin d'air

70 mmsur mesurede précision

Présentation du produit
La guide d'axe Z en céramique d'alumine ultra-précise est un composant de mouvement clé pour les machines de mesure tridimensionnelle (MMT) et les plateformes de mouvement à palier d'air de précision. Rectifié et poli avec précision, il peut servir de fût d'axe Z, de poutre de guidage pour palier d'air ou de support de sonde. Le Z-axis céramique d'Innovacera utilise une structure longue et creuse avec des alésages carrés, rectangulaires ou circulaires pour s'adapter aux conceptions d'équipement. Ses surfaces extérieures usinées de précision s'intègrent aux paliers d'air préchargés, supports de sonde, règles linéaires, mécanismes d'entraînement et systèmes de contrepoids pneumatiques. Un film d'air mince entre la surface de guidage et le palier d'air permet un mouvement sans contact et à faible frottement, réduisant l'usure tout en améliorant la régularité et la répétabilité à grande vitesse.

Caractéristiques du produit

• Précision géométrique au niveau micron
• Conçu pour les systèmes de guidage à palier d'air
• Structure creuse à haute rigidité (alésages carrés, rectangulaires ou circulaires)
• Excellente stabilité dimensionnelle et faible dilatation thermique par rapport aux métaux
• Plusieurs sections creuses disponibles
• Trous de fixation et interfaces personnalisés possibles

Spécifications
Model | Dimensions W × H × L | Planéité | Parallélisme | Perpendicularité
INV0646490-S | 64 × 64 × 900 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0686899-S | 68 × 68 × 999 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0707010-S | 70 × 70 × 1000 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0707012-S | 70 × 70 × 1200 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0707014-S | 70 × 70 × 1400 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0808010-S | 80 × 80 × 1000 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0808012-S | 80 × 80 × 1200 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0808014-S | 80 × 80 × 1400 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm

Applications

• Machines de mesure tridimensionnelle : Convient aux MMT pont, portique et de balayage haute précision en tant que fût Z en céramique ou poutre de guidage pour palier d'air.
• Plateformes de mouvement à palier d'air de précision : Pour plateformes exigeant faible frottement, grande répétabilité de positionnement et mouvement linéaire stable.
• Équipements d'inspection des semi-conducteurs : Composant structurel pour inspection de wafers, inspection de boîtiers, alignement de précision et plateformes de mesure vision haute précision grâce à la stabilité dimensionnelle et la faible dilatation thermique.
• Équipements de mesure optique et laser : Pour plateformes de mesure optique, interféromètres laser, instruments de mesure de contour/circularité et équipements de balayage de précision.
• Machines-outils ultra-précises : Utilisable comme guide céramique dans des équipements d'usinage ultra-précis, plateformes de positionnement et systèmes de mouvement sans contact.
• Usinage de précision et contrôle qualité : La fabrication de longues pièces Z creuses en céramique nécessite le contrôle des propriétés du matériau, de la déformation de frittage, de l'usinage multi-surfaces coordonné et de l'inspection au niveau micron sur de grandes distances.

Caractéristiques techniques

• Matériau : Alumine (Al2O3) principalement ; autres céramiques techniques disponibles selon l'application
• Sections creuses disponibles : alésages carrés, rectangulaires, circulaires pour s'adapter à la conception de l'équipement
• Finition de surface : surfaces extérieures rectifiées et polies pour intégration avec paliers d'air
• Précision géométrique : planéité typique ≤ 3 μm, parallélisme ≤ 3 μm, perpendicularité ≤ 2 μm
• Longueurs disponibles jusqu'à 1400 mm pour les modèles standard listés
• Rapport rigidité/poids élevé ; la structure creuse réduit l'inertie pour le balayage à grande vitesse
• Faible dilatation thermique et excellente stabilité dimensionnelle par rapport aux métaux et au granit
• Conçu pour s'interfacer avec paliers d'air préchargés, supports de sonde, règles linéaires, mécanismes d'entraînement et systèmes de contrepoids pneumatiques
• Permet un mouvement sans contact et à faible frottement via un film d'air mince lorsqu'il est associé à des paliers d'air, améliorant la répétabilité et réduisant l'usure
• Trous de montage, interfaces et datums d'inspection/mesure personnalisables pour une intégration spécifique à l'application