Platine de positionnement de translation INV

XYZmultiaxeguidé sans frottement

Aperçu
La plate-forme de mouvement multi-axes à palier d'air céramique ultra-précise d'Innovacera utilise de l'alumine hautement purifiée pour les guides principaux et les surfaces de référence de précision. Associée à des paliers aérostatiques, une architecture multi-axes et des systèmes d'entraînement et de rétroaction de position configurables, elle constitue une base de mouvement stable et sans contact pour l'inspection de précision, la numérisation optique, l'équipement semi-conducteur et les systèmes d'automatisation.

Fonctionnement
En fonctionnement, de l'air comprimé filtré forme un film d'air uniforme entre les paliers et les surfaces de guidage en céramique, permettant aux éléments mobiles de fonctionner sans contact mécanique direct. Par rapport aux guidages roulants conventionnels, la structure à palier d'air réduit le frottement, le stick-slip à basse vitesse, l'usure mécanique et les perturbations liées à la lubrification, contribuant à améliorer la fluidité du balayage continu, la constance de la vitesse et la répétabilité des mouvements.

Fabrication et Précision
Les composants céramiques principaux peuvent être rectifiés, lapés et polis avec précision pour maîtriser la planéité, le parallélisme, la perpendicularité, la rugosité de surface et les références de montage critiques. Les dimensions de la plate-forme, les configurations d'axes, les perçages de fixation, les interfaces pneumatiques et les interfaces d'entraînement et de retour peuvent être personnalisés selon l'espace disponible et les exigences de mouvement.

Caractéristiques produit

• Mouvement sans contact par palier d'air
• Guides et surfaces de référence en alumine hautement purifiée
• Contrôle de la géométrie au niveau du micron
• Balayage fluide et contrôle stable de la vitesse
• Conservation de la précision sur le long terme
• Adaptée aux environnements propres et à faible contamination
• Architecture multi-axes configurable

Spécifications
Platform Series | Size Class | Flatness | Parallelism | Perpendicularity | Remarks
INV Series | 600 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized
INV Series | 800 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized
INV Series | 1200 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized

Applications typiques
Équipements de métrologie et d'inspection de précision
Utilisée comme module de mouvement pour l'inspection dimensionnelle de précision, la mesure de profil de surface, la mesure sans contact, le balayage par sonde et les machines de mesure dimensionnelle (MMT).

Inspection des semi-conducteurs et des plaquettes
Utilisée pour l'inspection de plaquettes, le balayage de substrats, l'inspection de photomasques, l'inspection de boîtiers et les plateformes de positionnement et de manutention de précision dans les équipements semi-conducteurs.

Systèmes optiques et photonique
Utilisée pour l'alignement de faisceaux, l'inspection d'objectifs, la mesure interférométrique, le couplage de fibres, le balayage de composants optiques et l'assemblage et l'alignement de dispositifs photoniques.

Traitement laser et micro/nanofabrication
Utilisée dans la découpe laser, le marquage laser, la micromécanique, l'exposition de précision et autres systèmes de traitement nécessitant une vitesse de balayage stable.

Inspection de panneaux d'affichage et électronique
Utilisée pour le balayage, l'inspection et le positionnement de substrats en verre, de panneaux d'affichage, de circuits imprimés et de composants électroniques de précision.

Assemblage automatisé
Utilisée pour le dépôt de haute précision, le placement, l'alignement, le pick-and-place, l'assemblage et l'inspection en ligne.

Caractéristiques techniques

• Matériau : alumine hautement purifiée (Al2O3) pour les guides et composants de référence de précision
• Type de palier : paliers aérostatiques formant un film d'air uniforme pour un mouvement sans contact
• Précision géométrique : planéité, parallélisme et perpendicularité contrôlés à ≤ 2 μm (cf. tableau pour INV Series 600/800/1200)
• Séries / Classes de taille : INV Series — 600, 800, 1200 (personnalisable)
• Traitement de surface : rectification, lappage et polissage de précision pour contrôler la rugosité et les références
• Architecture de mouvement : plates-formes multi-axes configurables (X/Y/Z/θ)
• Performances : balayage fluide, contrôle stable de la vitesse, faible friction, réduction du stick-slip et de l'usure
• Environnement : adapté aux environnements propres et à faible contamination
• Personnalisation : dimensions, course, motifs de perçage, interfaces pneumatiques, interfaces d'entraînement et de capteurs adaptables