Anneau en céramique

en disqued'aluminede protection

Disque d'alumine et anneau de bord en céramique pour support de plaquette semi-conductrice Les composants céramiques de haute précision améliorent la gestion du rendement pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs. Les composants céramiques d'Innovacera assurent une stabilité dimensionnelle précise, une planéité et une douceur extrêmes, ainsi qu'un maintien sous vide des plaquettes pendant l'inspection et le traitement. Les configurations à faible contact de surface minimisent le risque de particules sur la face arrière qui affectent négativement la géométrie de la plaquette pour les applications de précision. L'anneau céramique d'INNOVACERA présente les avantages suivants : 1. Résistance à l'usure et à l'abrasion : L'alumine est une céramique technique tenace qui présente une très bonne résistance à l'usure. 2. Dimensions de haute précision avec tolérance de serrage, il est plus facile d'obtenir une relation d'ajustement parfaite. 3. Inertie chimique, résistant à la plupart des acides forts et des alcalis. 4. Capacité à résister aux températures élevées : jusqu'à 1600°C dans des atmosphères oxydantes et réductrices. 5. Excellentes propriétés mécaniques : la dureté, la résistance à la compression et à la flexion sont beaucoup plus élevées dans l'acier inoxydable. 6. Isolation électrique : La rupture de l'isolation est d'au moins 20KV. 7. Atmosphère protectrice ou vide poussé à haute température pour éliminer toute contamination ou impureté. 8. Résistance à la corrosion chimique à des températures élevées, même en présence d'acides ou d'alcalis forts. 9. Coût du matériau plus faible que celui des autres céramiques techniques pour les applications de haut niveau.