Anneau en céramique

en disqued'alumined'isolation

Les anneaux de mise au point en céramique d'alumine sont conçus pour améliorer l'uniformité de la gravure sur le bord ou le périmètre de la plaquette. Lorsqu'ils sont utilisés avec un mandrin électrostatique (e-chuck), la plaquette repose sur l'anneau de mise au point du bord - maintenu en place par la charge électrostatique. Les anneaux de mise au point en céramique d'alumine sont des composants essentiels de l'équipement de gravure au plasma, principalement dans la chambre de gravure. Les anneaux sont positionnés stratégiquement pour optimiser la distribution du plasma et maintenir l'uniformité pendant le processus de gravure. Les processus de fabrication des semi-conducteurs exigent un fonctionnement dans des environnements de salle blanche, en particulier pour les composants utilisés à haute température, sous vide et dans des conditions de gaz corrosifs. Les matériaux céramiques conservent une grande stabilité dans ces environnements physiques et chimiques complexes. La bague de mise au point en céramique est un élément essentiel du processus de gravure des semi-conducteurs. Lorsque l'alliage d'aluminium est choisi comme matériau pour la chambre de gravure, il peut facilement provoquer une contamination par des particules métalliques. C'est pourquoi la céramique d'alumine de haute pureté (plus de 99,5 %) est utilisée dans la fabrication des anneaux de focalisation en céramique comme matériau de la chambre pour l'équipement de gravure au plasma. Caractéristiques des anneaux focaux en céramique： -Résistance à l'usure, -Résistance à la corrosion, -Excellentes propriétés mécaniques, -Isolation électrique, -Répondent aux normes de qualité des produits semi-conducteurs.