Anneau en céramique

d'aluminede nitrure de borede protection

La chambre annulaire en céramique d'alumine est une variante spécialisée de composants résistants au plasma, tirant parti des propriétés uniques de l'alumine (Al₂O₃) pour fonctionner dans des environnements de plasma extrêmes. La chambre annulaire en céramique d'alumine résiste à la chaleur, à l'isolation électrique et à la pulvérisation, et sert de barrière protectrice et de stabilisateur. Il protège les composants critiques (par exemple, les électrodes, les capteurs) du bombardement ionique et de l'érosion chimique, empêche les fuites/arcs de courant, assure une distribution uniforme du plasma (par exemple, dans la gravure des semi-conducteurs) et résiste à la contamination par les gaz réactifs (par exemple, Cl₂, F₂). Malgré sa fragilité et sa résistance limitée aux chocs thermiques, le renforcement ou les revêtements composites (par exemple, le nitrure de bore) améliorent son utilisation dans des applications extrêmes telles que les semi-conducteurs et l'aérospatiale, en équilibrant le coût et la performance.