Anneau en céramique

d'alumined'isolation

La bague de mise au point en céramique est un élément essentiel du processus de gravure des semi-conducteurs. Lorsque l'alliage d'aluminium est choisi comme matériau de la chambre de gravure, il peut facilement provoquer une contamination par des particules métalliques. C'est pourquoi la céramique d'alumine de haute pureté (plus de 99,5 %) est utilisée dans la fabrication des anneaux de focalisation en céramique comme matériau de chambre pour l'équipement de gravure au plasma. Caractéristiques des anneaux focaux en céramique： -Résistance à l'usure, -Résistance à la corrosion, -Excellentes propriétés mécaniques, -Isolation électrique, -Répondent aux normes de qualité des produits semi-conducteurs. Innovacera possède une riche expérience dans le domaine des solutions céramiques techniques, des composants céramiques avancés et de l'industrie des semi-conducteurs depuis plus de 10 ans. Nous avons mis en place un système de qualité de haut niveau et un processus de contrôle de qualité strict, chaque lot de produits étant soumis à une inspection de qualité rigoureuse. La philosophie de service d'Innovacera est de répondre aux exigences de qualité et de satisfaire les clients. Si vous avez besoin d'anneaux de focalisation en céramique d'alumine, n'hésitez pas à nous contacter.