pour le fonctionnement en boucle fermée (résolution jusqu'à 50nm)
combinaisons multi-axes sans plaques d'adaptation
Platine de translation miniature à entraînement inertiel piézoélectrique avec système de mesure.
Données techniques
Largeur - 52 mm
Hauteur - 12,5 mm
Profondeur - 30 mm
Vitesse - 1,2 mm/s
Charge maximale
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Momentum (My) - 5 Ncm
Momentum (Mz) - 5 Ncm
Force de blocage (Fx) - 4,5 N
Force d'appui (Fy, Fz) - 30 N
Précision du guidage
Angle de lacet - 170 secondes d'arc
Angle de tangage - 160 secondes d'arc
Déviation verticale - 3 um
Déviation latérale - 3 um
Informations sur les mesures
Marque de référence - milieu
Résolution - 1um à 50 nm
Tension d'alimentation - 5 V
Consommation électrique - 150 mA
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