- 5 mm de course pour un encombrement au sol de 17 x 32 mm
- pour des températures ultra basses jusqu'à 4K
- pour des conditions de vide élevé jusqu'à 10^(-9) mbar
Traductions miniatures DeepL pour des températures ultra basses avec entraînement piézoélectrique inertiel. Edition UHV du ML 17.
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