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Platine de positionnement linéaire MS15motoriséepiézoélectrique3 axes
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Caractéristiques
- Orientation
- linéaire
- Type
- motorisée, piézoélectrique
- Nombre d'axes
- 3 axes
- Autres caractéristiques
- compacte, miniature, compatible vide
- Course
3,5 mm
(0,138 in)- Vitesse
1,5 mm/s
- Charge
6 g
(0,21 oz)
Description
pour l'ultravide jusqu'à 10^(-9) mbar
conception ultra compacte
encombrement de 15 x 15 mm
Platines de translation miniatures ultra-compactes avec entraînement inertiel piézoélectrique. Edition UHV du MS15.
Caractéristiques techniques
Largeur - 15 mm
Hauteur - 7 mm
Profondeur - 15 mm
Charge maximale
Momentum (Mx) - 4 Ncm
Momentum (My) - 4 Ncm
Momentum (Mz) - 4 Ncm
Force de blocage (Fx) - 3 N
Force d'appui (Fy, Fz) - 20 N
Précision du guidage
Angle de lacet - 20 secondes d'arc
Angle de tangage - 60 secondes d'arc
Déviation verticale - 1 um
Déviation latérale - 2 um
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