pour des conditions de vide poussé jusqu'à 10^(-9) mbar
ouverture libre de 10 mm pour le passage des rayons
Platines de translocation miniatures avec ouverture libre de 10 mm et entraînement inertiel piézoélectrique. Edition UHV du MS 38.
Données techniques
Largeur - 38 mm
Hauteur - 9,5 mm
Profondeur - 40 mm
Charge maximale
Momentum (Mx) - 4 Ncm
Momentum (My) - 4 Ncm
Momentum (Mz) - 4 Ncm
Force de blocage (Fx) - 4,5 N
Force d'appui (Fy, Fz) - 20 N
Précision du guidage
Angle de lacet - 20 secondes d'arc
Angle de tangage - 60 secondes d'arc
Déviation verticale - 1 um
Déviation latérale - 2 um
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