pour la boucle fermée (jusqu'à une résolution de 50 nm)
pour le système NOVA
Platines de translation miniatures avec entraînement inertiel piézoélectrique pour le système NOVA. Edition standard
Caractéristiques techniques
Largeur - 70 mm
Hauteur - 20 mm
Profondeur - 70 mm
Vitesse - 1 mm/s
Charge maximale
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Momentum (My) - 5 Ncm
Momentum (Mz) - 5 Ncm
Force de blocage (Fx) - 9 N
Force d'appui (Fy, Fz) - 30 N
Précision du guidage
Angle de lacet - 20 secondes d'arc
Angle de tangage - 60 secondes d'arc
Déviation verticale - 1 um
Déviation latérale - 2 um
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