platine de translation / piézoélectrique / en boucle fermée
NDS70

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Caractéristiques

  • Orientation:

    de translation

  • Type:

    piézoélectrique

  • Autres caractéristiques:

    en boucle fermée

  • Course:

    15 mm

  • Vitesse:

    1 mm/s

Description

voyage de 15 millimètres à l'empreinte de pas de 70 x 70 millimètres
pour la boucle fermée (résolution jusqu'à de 50 nanomètre)
pour le système de NOVA
Étapes miniatures de traduction avec la commande à inertie électrique piézo-électrique pour le système de NOVA. Édition courante

Ceci est une traduction automatique  (voir l’original en anglais)

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