pour des conditions de vide poussé jusqu'à 10^(-6) mbar
conception ultra compacte
xyz - combinaison possible
Platines de translation miniatures ultra-compactes avec entraînement inertiel piézoélectrique. Edition vide du MS15.
Données techniques
Largeur - 15 mm
Hauteur - 7 mm
Profondeur - 15 mm
Vitesse - 1,5 mm/s
Charge maximale
Momentum (Mx) - 4 Ncm
Momentum (My) - 4 Ncm
Momentum (Mz) - 4 Ncm
Force de blocage (Fx) - 3 N
Force d'appui (Fy, Fz) - 20 N
Précision du guidage
Angle de lacet - 20 secondes d'arc
Angle de tangage - 60 secondes d'arc
Déviation verticale - 1 um
Déviation latérale - 2 um
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