pour des conditions de vide élevé jusqu'à 10^(-6) mbar
boîtier particulièrement plat (10 mm de hauteur)
Platines de translation miniatures avec entraînement inertiel piézoélectrique. Edition vide du DS 30.
Caractéristiques techniques
Largeur - 30 mm
Hauteur - 10 mm
Profondeur - 30 mm
Charge maximale
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Momentum (My) - 5 Ncm
Momentum (Mz) - 5 Ncm
Force de blocage (Fx) - 4,5 N
Force d'appui (Fy, Fz) - 30 N
Précision du guidage
Angle de lacet - 20 secondes d'arc
Angle de tangage - 60 secondes d'arc
Déviation verticale - 1 um
Déviation latérale - 2 um
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