pour des conditions de vide poussé jusqu'à 10^ (- 9) mbar
voyage de 8 millimètres à l'empreinte de pas de 30 x 30 millimètres
particulièrement logement plat (taille de 10mm)
Étapes miniatures de traduction avec la commande à inertie électrique piézo-électrique. Édition d'UHV du DS 30.
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