Résine photo-sensible ArF

pour semiconducteurs

Aperçu
Matériaux pour l'imagerie positive en exposition sèche et en immersion, ainsi que pour l'imagerie à tonalité négative (NTI). Conçus pour des expositions 193 nm à haute résolution avec plusieurs options pour les procédés secs et par immersion.

Gamme de produits

• GAR Series : Les produits de la GAR Series conviennent aux applications nécessitant une exposition 193 nm en mode sec.
• FAiRS Series for PTI (positive tone imaging) : Produits FAiRS adaptés à l'exposition 193 nm en immersion et à l'imagerie en tonalité positive.
• FAiRS Series for NTI (negative tone imaging) : Produits FAiRS adaptés à l'exposition 193 nm en immersion et à l'imagerie en tonalité négative.

Caractéristiques & Avantages

• Haut débit
• Excellente résolution
• Larges fenêtres de procédé
• Faible taux de défauts
• Contrôle du profil vertical

Caractéristiques / Données techniques

• Longueur d'onde : 193 nm
• Modes d'imagerie : positif sec, immersion (PTI), imagerie à tonalité négative (NTI)
• Séries de produits : GAR Series (dry), FAiRS Series (PTI et NTI)
• Conçus pour l'imagerie haute résolution avec de larges fenêtres de procédé et un faible niveau de défauts