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Résine photo-sensible ArFpour semiconducteurs
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Caractéristiques
- Applications
- pour semiconducteurs
- Autres caractéristiques
- photo-sensible
Description
Matériaux pour l'imagerie positive par voie sèche et par immersion, et l'imagerie en tonalité négative (NTI)
Caractéristiques et avantages
Large gamme de systèmes d'imagerie haute résolution pour l'exposition à 193 nm, y compris l'imagerie positive par voie sèche et par immersion et l'imagerie en tonalité négative (NTI)
- Débit élevé
- Résolution supérieure
- Larges fenêtres de traitement
- Faibles niveaux de défauts
- Profils verticaux
- Série GAR
Les produits de la série GAR conviennent à une variété d'applications nécessitant une exposition sèche à 193 nm.
- Série FAiRS pour PTI (imagerie en tons positifs)
Les produits de la série FAiRS conviennent à une variété d'applications qui nécessitent une exposition par immersion à 193 nm et une imagerie en tonalité positive.
- Série FAiRS pour NTI (imagerie en tonalité négative)
Les produits de la série FAiRS conviennent à une variété d'applications qui nécessitent une exposition par immersion à 193 nm et une imagerie en tonalité négative.
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Catalogues
* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.