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Résine pour semiconducteurs ArFphoto-sensibleà immersionhaute performance
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Caractéristiques
- Applications
- pour semiconducteurs
- Autres caractéristiques
- photo-sensible, à immersion, haute performance
Description
Aperçu
Matériaux pour l'imagerie positive en exposition sèche et en immersion, ainsi que pour l'imagerie à tonalité négative (NTI). Conçus pour des expositions 193 nm à haute résolution avec plusieurs options pour les procédés secs et par immersion.
Gamme de produits
Caractéristiques & Avantages
Caractéristiques / Données techniques
Matériaux pour l'imagerie positive en exposition sèche et en immersion, ainsi que pour l'imagerie à tonalité négative (NTI). Conçus pour des expositions 193 nm à haute résolution avec plusieurs options pour les procédés secs et par immersion.
Gamme de produits
- GAR Series : Les produits de la GAR Series conviennent aux applications nécessitant une exposition 193 nm en mode sec.
- FAiRS Series for PTI (positive tone imaging) : Produits FAiRS adaptés à l'exposition 193 nm en immersion et à l'imagerie en tonalité positive.
- FAiRS Series for NTI (negative tone imaging) : Produits FAiRS adaptés à l'exposition 193 nm en immersion et à l'imagerie en tonalité négative.
Caractéristiques & Avantages
- Haut débit
- Excellente résolution
- Larges fenêtres de procédé
- Faible taux de défauts
- Contrôle du profil vertical
Caractéristiques / Données techniques
- Longueur d'onde : 193 nm
- Modes d'imagerie : positif sec, immersion (PTI), imagerie à tonalité négative (NTI)
- Séries de produits : GAR Series (dry), FAiRS Series (PTI et NTI)
- Conçus pour l'imagerie haute résolution avec de larges fenêtres de procédé et un faible niveau de défauts
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.
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