PrésentationGamme étendue de mélanges de solvants spécifiques destinés au retrait de bourrelet de résine (Edge Bead Removal - EBR), aux opérations de retouche, au rinçage et aux applications de pré-humectage. Fujifilm propose des solvants de très haute pureté et des mélanges sur mesure pour répondre aux exigences strictes des procédés lithographiques en matière de particules, de traces métalliques et de contaminants organiques.
Gamme de produits- Alcools et cétones
- Méthanol
- Acétone
- MEK
- Éthanol
- IPA
- MIBC
- MIBK
- Cyclopentanone
- Cyclohexanone
- Acétates, lactones et éthers
- Solvants EUV et mélanges sur mesure
- Solvants adaptés à l'EUV et formulations client spécifiques (consultez votre responsable de compte Fujifilm)
Caractéristiques et avantages- Grades de pureté très élevés pour réduire les défauts et la contamination
- Solvants optimisés pour l'EUV offrant un meilleur contrôle du patterning et une réduction du gonflement du résiste
- Support pour process personnalisés et mélanges sur mesure
- Analyses avancées pour garantir la pureté et la constance des produits
- Fabrication et conditionnement régionalisés aux États-Unis, en Europe et en Asie
- Options de conditionnement:
- Flacons en verre 1–4 L
- NOWPak
- Fûts : acier inoxydable, PFA, HDPE
- IBC : acier inoxydable, PFA, HDPE
- ISOtainer
Caractéristiques techniques- Marque : Fujifilm
- Nom / série du produit : NTI Developers
- Applications prévues : Edge Bead Removal (EBR), retouche, rinçage, pré-humectage pour procédés photoresist
- Familles chimiques disponibles : alcools, cétones, acétates, lactones, éthers, solvants spécifiques EUV
- Chimies représentatives : Méthanol, Acétone, MEK, Éthanol, IPA, MIBC, MIBK, Cyclopentanone, Cyclohexanone, PGME, PGMEA, GBL, EL, nBA
- Pureté/qualité : grades de très haute pureté ; conformité aux normes internationales pour particules, traces métalliques et contaminants organiques
- Personnalisation : mélanges et supports process sur mesure disponibles
- Fabrication & conditionnement : production régionalisée (États-Unis, Europe, Asie) ; conditionnements : flacons verre (1–4 L), NOWPak, fûts (acier inoxydable, PFA, HDPE), IBC (acier inoxydable, PFA, HDPE), ISOtainer
- Assurance analytique : utilisation d'outils analytiques de pointe pour vérifier la pureté et la qualité
- Remarque marque déposée : NOWPak est une marque ou marque déposée d'Entegris, Inc. aux États-Unis et/ou dans d'autres pays