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Résine pour semiconducteurs KrFhaute résistancephoto-sensibleà haute stabilité thermique
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Caractéristiques
- Applications
- pour semiconducteurs
- Autres caractéristiques
- haute résistance, photo-sensible, à haute stabilité thermique
Description
Les séries GKR sont des systèmes de photorésist KrF à tonalité positive qui couvrent une large gamme d'applications.
- Matériaux sans PFOS/PFAS
- Application à haut rapport d'aspect
- Résistance supérieure à la gravure plasma et à l'implantation ionique
- Large fenêtre de traitement
- Faibles niveaux de défauts
- Stabilité à long terme
- Profils verticaux
- Large couverture d'épaisseur
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Catalogues
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.