Révélateur pour résine photosensible OPD series

Overview FUJIFILM Electronic Materials propose une gamme complète de révélateurs à base de TMAH pour systèmes de résists photo positifs et négatifs. Disponibles en formulations prêtes à l'emploi (RTU) et en concentrés, ces produits sont adaptés au développement par immersion et aux pistes en ligne pour la production de semi‑conducteurs.

Product Lineup

• Produits prêts à l'emploi (RTU)
  • Révélateur sans tensioactif (TMAH 2.38 wt%)
  • Révélateur avec tensioactif (TMAH 2.38 wt%)
• Produits concentrés
  • Concentré TMAH 24,9% (dilution nécessaire par le client)
  • 10% TMAH avec tensioactif (concentré pré-mélangé pour dilution)
• Exemples de modèles
  • OPD 262 — révélateur sans tensioactif
  • OPD 4262 — révélateur avec tensioactif à large compatibilité
  • OPD 4280 — révélateur avec tensioactif à large compatibilité
  • WNRD — révélateur pour résists négatifs

Features & Benefits

• Grades de pureté multiples, y compris des options ultra-haute pureté pour applications avancées et EUV
• Formats RTU et concentrés pour flux de production standard ou dilution sur site
• Compatible avec le développement par immersion et les pistes en ligne
• Options avec ou sans tensioactif pour s'adapter au résist et au procédé
• Alimentation en vrac et en concentré pour la production à grand volume

Packaging & Delivery

• Conteneurs 1000 L (IBC) — usage unique ou réutilisables
• Fûts 200 L — usage unique ou réutilisables
• Livraison en vrac (selon localisation)
• 4 x 4 L bouteilles

Technical Specifications

• Base chimique : TMAH (tétraméthylammonium hydroxyde)
• Types de produits : RTU (ex. TMAH 2.38 wt%) et concentrés (ex. 24,9% TMAH ; 10% TMAH avec tensioactif)
• Applications : systèmes de résists positifs et négatifs ; développement par immersion et pistes en ligne ; compatible EUV
• Tensioactif : disponible avec ou sans
• Grades de pureté : standard à ultra‑haute pureté
• Options de livraison : concentré, vrac, fûts, IBC, petits flacons

Ordering & Support

• Emballages personnalisés et assistance pour dilution disponibles pour clients volume
• Contactez FUJIFILM Electronic Materials pour échantillons, fiches techniques et informations réglementaires