Résine pour semiconducteurs i-Line

photo-sensible

Présentation
Série de photorésists sensibles au mid-UV conçue pour la photolithographie sur une large plage de résolutions (inférieure à 0,30 µm à >1,0 µm) et de films d'épaisseur variable, sur substrats non-réfléchissants, réfléchissants et à forte réflectivité.

Gamme de produits

• Résists i-line pour substrats non-réfléchissants
  Familles de résists destinées aux impressions CD critiques sur substrats non-réfléchissants :
  • OiR 620 series
  • OiR 674 series
• Résists i-line pour substrats réfléchissants
  Séries proposant des options de photosensibilité rapides pour des résolutions avancées sur substrats réfléchissants :
  • OiR 674 series
  • GiR 1102 series
• Résists i-line haute résolution multi-usages
  Séries offrant les options de photosensibilité les plus rapides pour des débits élevés et un façonnage haute résolution :
  • GiR 2700 series
  • OiR 305 series
  • OiR 906 series
  • OiR 907 series
• Résists crossover g- et i-line et large bande
  Résists adaptés pour g-line, i-line et large bande (>800 nm CD) :
  • HiPR 6500 series
  • HPR 510 series
• Résists teintés pour substrats à haute réflectivité
  Formulations non-blanchissantes offrant une forte densité optique pour le contrôle du CD et du notching :
  • OiR 906HD
  • OiR 305HC
  • HiPR 6500GH
  • HiPR 6500HC
• Résists i-line pour applications épaisseurs
  Séries conçues pour la mise en forme de films épais (3–13 µm) :
  • FHi-560EP
  • GiR 3114
  • OiR 305
  • OiR 908

Avantages
Large choix de résists mid-UV couvrant des plages CD critiques et non critiques, compatibilité avec plusieurs types de substrats et fenêtres d'épaisseur étendues, avec des compromis photospeed/risolution sélectionnables selon la série.

Caractéristiques techniques

• Sensibilité : mid-UV (i-line / g-line / broadband)
• Résolution ciblée : inférieure à 0,30 µm à >1,0 µm selon la série
• Compatibilité substrat : non-réfléchissant, réfléchissant et haute réflectivité
• Séries représentatives : OiR 620, OiR 674, GiR 1102, GiR 2700, OiR 305, OiR 906, OiR 907, HiPR 6500, HPR 510, OiR 906HD, OiR 305HC, HiPR 6500GH, HiPR 6500HC, FHi-560EP, GiR 3114, OiR 908
• Contrôle du CD et du notching pour substrats très réfléchissants (séries teintées)
• Plage d'épaisseur film pour applications épaisses : 3 µm à 13 µm
• Options pour photospeed élevé et haute résolution (>500 nm CD) selon la série