Jauge à vide à cathode froide

à ionisationà cathode chaude

Présentation
La jauge d'ionisation pour haut vide INNOVACERA mesure le degré de vide pour les systèmes de laboratoire, industriels et de recherche. Elle ionise les molécules de gaz dans une chambre dédiée et mesure le courant ionique/électronique résultant pour déterminer la densité de gaz et le niveau de vide. Disponible en variantes cathode chaude, cathode froide et source radioactive selon l'application et la plage de pression.

Principe de fonctionnement
La jauge comprend une chambre d'ionisation et un collecteur d'électrons/ions. Les molécules de gaz pénétrant dans la chambre sont ionisées par des filaments chauffants, des faisceaux d'électrons ou d'autres sources d'ionisation. Les ions positifs (ou les électrons selon la conception) sont collectés sous champ électrique, générant un courant mesurable proportionnel à la densité des molécules de gaz. Une augmentation du courant mesuré correspond à une densité de gaz plus élevée (vide plus faible) ; une diminution indique une densité plus faible (vide plus élevé).

Plage de mesure

• Utiliser une haute tension et une chambre d'ionisation plus grande pour les mesures à très basse pression
• Utiliser une basse tension et une chambre plus petite pour les mesures à des pressions plus élevées

Plage nominale de mesure : 0,1 ~ 10^-8 Pa

Caractéristiques techniques

• Type de produit : Jauge d'ionisation pour haut vide
• Fabricant : INNOVACERA
• Principe de mesure : Ionisation des molécules de gaz dans une chambre et collecte des charges ; mesure du courant résultant proportionnel à la densité de gaz
• Méthodes d'ionisation : Cathode chaude (filament chauffé), cathode froide, faisceau d'électrons, source radioactive (selon le type)
• Mode d'utilisation recommandé : haute tension + grande chambre pour très basses pressions ; basse tension + petite chambre pour pressions plus élevées
• Plage nominale : 0,1 ~ 10^-8 Pa

Applications

• Systèmes de vide en laboratoire et installations de recherche
• Procédés industriels sous vide : dépôt de couches minces, microélectronique, traitements de surface
• Métrologie du vide et laboratoires d'étalonnage

Installation et maintenance
Monter la jauge sur une bride de vide compatible avec des pénétrations électriques et une mise à la terre appropriées. Maintenir la propreté pour éviter la contamination de la chambre d'ionisation. Calibrer régulièrement par rapport à une jauge de référence. Remplacer les filaments ou sources radioactives selon les instructions du fabricant et respecter les procédures de sécurité pour les types radioactifs.