Le filtre de masse quadripolaire d'Innovacera, abrégé en quadripôle, est le composant central du spectromètre de masse quadripolaire. Il est généralement composé de quatre tiges métalliques parallèles cylindriques ou hyperboliques. Deux paires d'électrodes sont appliquées : tension continue (DC, U) et tension radiofréquence (RF, V·cos(ωt)). L'analyseur de masse quadripolaire sépare les ions en fonction de la stabilité de la trajectoire ionique dans le champ électrique oscillant.
Tableau des paramètres structurels:
- Options de matériaux : Céramique plaquée or/Acier inoxydable/Molybdène
- Diamètre des tiges : 2-16mm
- Longueur des tiges : 100-300mm
- Base : Céramique d'alumine/Céramique de verre usinable
- Précision globale : ≤3μm
Propriétés du matériau en céramique d'alumine à 99%:
- Couleur : Ivoire
- Caractéristiques principales : Excellente résistance à la corrosion par plasma, haute résistance à l'usure.
- Domaine d'application : Composants d'équipements semi-conducteurs, pièces résistantes à l'usure et à la corrosion.
- Densité : 3.88 g/cm3
- Imbibition d'eau : 0%
- Dureté Vickers : 17 HV
- Résistance à la flexion : 350 MPa
- Résistance à la compression : 2450 MPa
- Module de Young : 350 GPa
- Coefficient de Poisson : 0.22
- Tenacité à la rupture : 4-5 MPa·m1/2
- Coefficient de dilatation linéaire (40-400°C) : 8.2 x10-6/°C
- Conductivité thermique (20°C) : 25-30 W/(m·k)
- Chaleur spécifique : 0.8 J/(kg·k)x103
- Résistivité volumique (20°C) : >1015 Ω·cm
- Rigidité diélectrique : 20 KV/mm
- Constante diélectrique : 9.2
- Coefficient de perte diélectrique : 2 x10-4
- Perte de poids dans l'acide nitrique (HNO3) (90°C) : 1015 Ω·cm, Rigidité diélectrique 20 KV/mm, Constante diélectrique 9.2, Coefficient de perte diélectrique 2 x10-4, Température maximale d'utilisation 1500°C