Générateur de plasma contrôlable par PC TruPlasma RF Sériés 1000/3000 (G2/13)

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Présentation Alimentation plasma stable et reproductible pour une production à haut débit. La TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sont des générateurs HF dotés d'une électronique de puissance moderne, d'un contrôle précis de la sortie et de l'adaptation CombineLine assurant une véritable impédance de sortie de 50 Ω.

Principaux avantages

• Grande précision et reproductibilité grâce à la technologie CombineLine et à l'impédance de sortie 50 Ω réelle.
• Indépendance de la longueur du câble HF—pas d'adaptation des câbles nécessaire.
• Protection contre la puissance réfléchie en cas de désadaptation pour un fonctionnement sûr.
• Haute efficacité énergétique—rendement jusqu'à 80 % pour réduire les coûts énergétiques.
• Refroidissement sans ventilateur évitant le réchauffement et la contamination de l'air ambiant, compatible salle blanche.

Domaines d'application Les générateurs TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) conviennent aux procédés plasma tels que RIE, ALD, PECVD et pulvérisation RF. Secteurs typiques : fabrication de semi-conducteurs, MEMS, revêtement d'écrans plats et production de cellules photovoltaïques.

Avantages client & intégration système

• Matching intelligent en temps réel pour un ajustement rapide de l'impédance à 50 Ω et stabilisation du plasma.
• Blocs d'alimentation intégrés ultra-large (200–480 VAC) facilitant l'installation sur différentes tensions réseau.
• Multiples interfaces pour l'intégration : analogique configurable, RS-232/485, DeviceNet, Profibus, EtherCAT.
• Format compact haute puissance en tiroir enfichable 19 pouces ou ½-19 pouces pour intégration à faible encombrement.
• SystemPort TRUMPF pour contrôle en boucle fermée via mesure RF à l'entrée/sortie du réseau d'adaptation, amélioration de la surveillance et détection précoce d'arcs.

Options

• Auto Frequency Tuning : réglage de fréquence simultané et rapide breveté pour optimiser l'interaction générateur–matchbox.
• Gestion des arcs HF : détection ciblée des arcs pour protéger produit et équipement et maximiser la productivité.

Composants système & accessoires

• TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) réseaux d'adaptation pour transfert optimal de puissance ; fonctionnement autonome ou via SystemPort.
• Oscillateurs maîtres : synthétiseurs numériques de fréquence et de phase pour stabiliser des procédés synchrones (ex. 13,56 MHz).
• Commutateurs HF : usage d'un générateur sur plusieurs postes de traitement (2/3/4 sorties ; différentes classes de puissance).
• Câbles coaxiaux : câbles 50 Ω TRUMPF Hüttinger conçus pour la transmission de puissance HF.

Remarques La gamme, les spécifications et la disponibilité des accessoires peuvent varier selon les pays et sont susceptibles d'être modifiées.

Caractéristiques / spécifications techniques

• Famille produit : TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13)
• Procédés applicables : RIE, ALD, PECVD, pulvérisation RF
• Industries typiques : semi-conducteurs, solaire, revêtement d'écrans plats, MEMS
• Technologie : adaptation CombineLine vers impédance de sortie véritable 50 Ω
• Rendement : jusqu'à 80 %
• Refroidissement : sans ventilateur (compatible salle blanche)
• Alimentation : intégrée 200–480 VAC (ultra-large)
• Format : tiroir 19 pouces ou ½-19 pouces
• Interfaces : analogique configurable, RS-232, RS-485, DeviceNet, Profibus, EtherCAT
• Options : Auto Frequency Tuning, gestion des arcs HF
• Fonctionnalités système : TRUMPF SystemPort pour contrôle en boucle fermée et détection précoce d'arcs
• Support oscillateur maître : 13,56 MHz et autres combinaisons de fréquences