Générateur de plasma PECVD TruPlasma DC Series 4000 (G2)

PVD

Présentation
Le TruPlasma DC Série 4000 (G2) est une alimentation DC pulsée conçue pour la pulvérisation réactive de matériaux difficiles. Elle prend en charge les modes pulsé et Bias afin d'assurer des plasmas stables pour les procédés PVD et PECVD critiques, tout en minimisant les interruptions liées aux arcs et les dommages au substrat.

Slogan
Processus pulsés pour des surfaces brillantes

Principaux attributs

• Traitement numérique du signal garantissant un contrôle de plasma stable et une réduction des temps d'arrêt dus aux arcs.
• Gestion d'arc rapide avec faible énergie d'arc pour limiter les dommages au substrat et les défauts de surface.
• Large plage de fréquences d'impulsion et tension inverse/bias ajustable pour une adaptation flexible du procédé.
• Boîtier compact et robuste avec refroidissement par eau intégré pour économiser de l'espace d'installation et réduire la maintenance.
• Double fonctionnalité : fonctionnement en mode pulsé et en mode Bias dans une même unité.

Applications

• Revêtements durs : plasma stable pour une dureté de surface élevée et une meilleure résistance thermique/chimique.
• Métallisation (PVD) : dépôt de couches métalliques très fines et homogènes pour propriétés optiques et électriques.
• Photovoltaïque : adapté au dépôt de TCO et de couches conductrices avec faible énergie d'arc.
• Verre architectural : revêtements PVD sur grandes surfaces nécessitant une alimentation de procédé performante.

Avantages pour le client

• Qualité de revêtement et productivité accrues grâce à la réduction des gouttelettes, des défauts de surface et à l'augmentation des vitesses de dépôt.
• Flexibilité des procédés via des paramètres d'impulsion et un mode Bias ajustables pour répondre à diverses applications.
• Outils avancés de surveillance et de diagnostic pour optimiser les procédés et réduire les temps d'arrêt.

Options

• Fonctionnement parallèle et synchronisation de plusieurs générateurs, y compris synchronisation de la détection d'arc et du mode d'impulsion pour systèmes multi-cibles.

Logiciel
PVD Power : logiciel multilingue et ergonomique pour exploitation, configuration et diagnostic. Affiche les valeurs de procédé réelles, les avertissements/alarms, permet la définition de consignes et l'enregistrement/visualisation des paramètres de fonctionnement avec haute résolution temporelle (fonction oscilloscope).

Caractéristiques techniques

• Technologie : DC pulsé pour pulvérisation réactive ; supporte le mode Bias.
• Modes : pulsé et Bias (deux modes pris en charge par une unité).
• Gestion d'arc : numérique, traitement rapide avec faible énergie d'arc.
• Contrôle procédé : traitement numérique du signal ; large spectre de fréquences d'impulsion ; tension inverse réglable.
• Refroidissement : chiller eau intégré pour installation compacte et maintenance réduite.
• Scalabilité : possibilité d'exploitation parallèle et de synchronisation de plusieurs unités.
• Logiciel : PVD Power pour exploitation, configuration, diagnostic et enregistrement/visualisation des données (fonction oscilloscope).
• Applications types : PVD/PECVD revêtements durs, métallisation (TCO), fabrication de cellules photovoltaïques, revêtement de verre architectural grande surface.