Générateur de plasma programmable TruPlasma Bipolar Series 4000 (G2.1)

pour traitement de surfaceindustrielcontrôlable par PC

Présentation
La TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) est une famille de générateurs d'impulsions bipolaires conçue pour les procédés de dépôt assistés par plasma (PVD, PECVD et pulvérisation réactive). Ces générateurs offrent des formes d'onde de sortie configurables et une gestion d'arc entièrement numérique pour stabiliser le plasma et obtenir des couches reproductibles.

Caractéristiques principales

• Gestion d'arc entièrement numérique avec très faible énergie d'arc pour améliorer la qualité de couche.
• Formes d'onde de sortie configurables afin d'adapter le signal aux différents procédés.
• Modes pris en charge: courant continu, courant continu pulsé et bipolaire pour couvrir de multiples usages.
• Refroidissement par eau intégré dans le boîtier, pas de refroidisseur externe requis.

Applications

• Procédés PVD, PECVD et pulvérisation réactive.
• Production de photovoltaïque et de cellules solaires.
• Fabrication de semi‑conducteurs.
• Revêtement de verre architectural.
• Revêtements décoratifs et résistants à l'usure.

Avantages clients

• Qualité de revêtement et productivité constantes grâce à la faible énergie d'arc et à l'alimentation stable du procédé.
• Flexibilité des procédés via des formes d'onde ajustables pour répondre aux exigences techniques.
• Réduction de l'encombrement et intégration facilitée grâce au refroidissement par eau intégré.

Logiciel
Le logiciel PVD Power (multilingue) permet l'exploitation, la configuration et le diagnostic : affichage en temps réel des paramètres de procédé, alertes et alarmes, saisie des valeurs nominales par l'opérateur, enregistrement et visualisation haute résolution (fonction oscilloscope) pour l'analyse des processus.

Composants système

• Câbles d'alimentation, connecteurs et accessoires disponibles pour s'adapter aux normes de raccordement locales.
• Options de configuration pour adapter le générateur à l'environnement du système et optimiser l'intégration.

Caractéristiques / spécifications techniques

• Gamme produit : TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1).
• Modes de fonctionnement : CC, CC pulsé, bipolaire.
• Gestion d'arc : entièrement numérique, très faible énergie d'arc.
• Signaux de sortie : formes d'onde configurables.
• Refroidissement : eau intégrée (pas de refroidissement externe requis).
• Procédés ciblés : PVD, PECVD, pulvérisation réactive.
• Applications typiques : photovoltaïque, semi‑conducteurs, revêtements décoratifs et résistants à l'usure, verre architectural.
• Logiciel : PVD Power (affichage temps réel, alarmes, enregistrement, fonction oscilloscope).