Les platines de scanner de nanopositionnement SMARFLEX utilisent les avantages des flexions mécaniques piézoélectriques pour réaliser des tâches de positionnement très précises jusqu'à plusieurs centaines de μm.
Le PLF3232-xy.60 offre une plage de balayage de 60 μm dans les directions X et Y. D'un poids de 45 g, il est très léger et également assez compact avec ses 32 x 32 x 20 mm. Il combine deux scanners PLF3232-x.60 en un seul, avec une hauteur de construction moindre mais les mêmes performances.
En raison de sa taille et de son schéma de perçage, il s'adapte parfaitement à d'autres platines linéaires et positionneurs tels que le CLS-3232, qui combine une grande plage de déplacement et une haute précision.
Caractéristiques techniques
Plage de balayage [µm] - > 60
Force normale max. Force normale [N] - 5
Dimensions [mm] - 32 x 32 x 20
Poids [g] - 45
Matériau
Matériau de base - Titane (-TI) / Base en aluminium (-Al)
Boucle ouverte
Résolution en boucle ouverte MCS2 [nm] - MCS2 : <1
Boucle fermée
Résolution du capteur MCS2 [nm] - MCS2 : 1 (S)
Options de vide
Options de vide - HV (10-⁶mbar)
Option amagnétique - Oui (- NM)
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